3月26日，上海國際半導體展覽會（SEMICON China）于上海新國際博覽中心隆重開幕。先導科技集團有限公司及旗下公司先導電科、威科賽樂、先導芯光、先導微電子、先導元創(chuàng)精密、先導元創(chuàng)流體攜明星產品重磅參展（E7#7130，#7110），集中展示先導在半導體行業(yè)的最新產品與技術成果。參展期間，先導科技集團的硬核產品廣泛受到業(yè)界同仁、行業(yè)專家及媒體的高度關注。

重磅“芯”品：

①質量流量控制器

MFC即質量流量控制器，是現代工業(yè)過程控制中不可或缺的高精度的儀表設備，能夠精確控制并測量氣體的質量流量，在半導體制造、化學工程、生物醫(yī)藥、航空航天等多個行業(yè)中發(fā)揮著舉足輕重的作用。先導元創(chuàng)精密打造V/P/T/E四種系列MFC產品矩陣，可滿足客戶多種工業(yè)定制化需求。其中V100/VG80系列MFC采用“雙閥+壓降+位置傳感”的獨創(chuàng)設計，性能優(yōu)于業(yè)界 Tier1產品，具有響應速度快（啟停時間≤100ms），測量精度高（±0.5% S.P.），測量量程寬（2-100% F.S.），自診斷能力強（少維護TCOO）等特點。憑借MFC強大的性能表現，廣東先導元創(chuàng)精密科技有限公司榮獲SEMICON CHINA 2025產品創(chuàng)新獎三等獎！

②EEL 850nm SLD邊發(fā)射激光器芯片

EEL即邊發(fā)射激光器，作為光電子行業(yè)的重要組成部分，其應用已涵蓋汽車、消費電子及航空航天等方面。威科賽樂研發(fā)的850nm SLD邊發(fā)射激光器芯片具有高功率、低紋波、高譜寬等特點，光功率可達20mW以上且Rip<0.2dB，是應用于光纖陀螺，醫(yī)療斷層掃描技術的重要光源。

③超高壓汞燈

超高壓汞燈有著特殊的光譜特性、極高的亮度和穩(wěn)定的紫外光輸出，在半導體光刻、顯示面板光刻、PCB曝光領域中有著十分重要的應用。先導元創(chuàng)自研的超高壓汞燈產品系列齊全，從低功率到高功率全覆蓋（75w-16000W）；光譜強度高，峰值輻射在365nm處；光輸出穩(wěn)定，確保每次曝光都能獲得一致的光能密度；產品適應性廣，匹配ASML/CANON/NICON/SUSS等廠家設備；使用壽命長，專為持久性能而設計。

④2.5Gbps InGaAs APD光電二極管芯片

光電二極管芯片是將光信號轉換為電信號的關鍵器件，APD光電二極管芯片的靈敏度高于PIN二極管芯片，能夠在弱光條件下檢測光信號。先導光芯研發(fā)生產的2.5GbpS APD 芯片為正照平面型結構裸芯片，PN電極異面，具有高帶寬、高響應度、高可靠性等特點，可應用于光纖通信、OTDR儀器和掃描成像儀等領域。

⑤化學鍍膜前驅體

化學鍍膜前驅體是一種用于化學氣相沉積（CVD）或原子層沉積（ALD）等工藝的化學原料，廣泛應用于半導體、微電子和光學等領域。其中，在半導體中的應用環(huán)節(jié)主要包括薄膜沉積、外延生長、刻蝕等環(huán)節(jié)。此外，前驅體也可用于薄膜封裝技術，發(fā)揮水汽阻隔、延長有機發(fā)光物質壽命的作用，是OLED工藝中的核心技術之一。目前，先導微電子可提供高純度的四氯化鉿、二氯二氧化鉬、三甲基鋁等金屬前驅體，以及雙(二乙基氨基)硅烷、正硅酸乙酯等硅基前驅體。

先導科技集團作為業(yè)內領先的泛半導體科技企業(yè)，在展會上不僅體現了出色的研發(fā)成果，同時也向業(yè)界彰顯了公司的雄厚實力。未來，先導將持續(xù)強化研發(fā)，夯實內功，以更高標準推進產品與服務的提升，為行業(yè)和客戶創(chuàng)造更多價值。