4月16日，由廣東微技術(shù)工業(yè)研究院（簡(jiǎn)稱“廣東工研院”）組織的“曝光時(shí)刻--3D異構(gòu)芯片封裝技術(shù)研討會(huì)”暨國(guó)內(nèi)首臺(tái)大芯片先進(jìn)封裝專用光刻機(jī)交付入廠儀式在增城區(qū)廣東越海集成技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“越海集成“）舉行。

本次交付入廠的國(guó)內(nèi)首臺(tái)大芯片先進(jìn)封裝專用光刻機(jī)由星空科技自主研制，可以為Chiplet和2.5D/3D大芯片的集成制造提供光刻加工工藝。

資料顯示，越海集成成立于2022年1月，由興橙資本、灣區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)發(fā)起設(shè)立，廣州產(chǎn)投領(lǐng)投，省、市、區(qū)三級(jí)國(guó)資共同參與投資。其聚焦于半導(dǎo)體晶圓級(jí)和系統(tǒng)級(jí)先進(jìn)封裝領(lǐng)域，以領(lǐng)先的TSV和2.5D/3D系統(tǒng)級(jí)封裝技術(shù)，加速芯片產(chǎn)業(yè)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。一期項(xiàng)目2023年5月實(shí)現(xiàn)首批設(shè)備通線，2024年初開始量產(chǎn)。

廣東工研院是一家新型研發(fā)機(jī)構(gòu)。2023年，廣州產(chǎn)投聯(lián)合增城區(qū)、增芯科技啟動(dòng)建設(shè)廣東工研院中試線項(xiàng)目，有效填補(bǔ)了廣東省12英寸特色工藝高端研發(fā)中試線空白。

據(jù)悉，近年來(lái)，廣州產(chǎn)投聚焦半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)，2023年累計(jì)投資項(xiàng)目11個(gè)，合計(jì)出資近40億元，推動(dòng)廣州形成“四座晶圓廠+兩座封測(cè)廠+一所設(shè)計(jì)院”的產(chǎn)業(yè)新格局。

封面圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)