3月11日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“增芯項(xiàng)目”）迎來(lái)工廠最核心設(shè)備--光刻機(jī)搬入，標(biāo)志著增芯項(xiàng)目迎來(lái)項(xiàng)目建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點(diǎn)，順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

據(jù)悉，增芯項(xiàng)目計(jì)劃總投資370億元，項(xiàng)目一期預(yù)計(jì)投資70億項(xiàng)目，一期一階段建成后，將具備年產(chǎn)24萬(wàn)片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品將主要應(yīng)用于新能源智能汽車(chē)、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域。

據(jù)增芯科技總經(jīng)理張亮介紹，增芯此次引進(jìn)的光刻機(jī)產(chǎn)能輸出速率可達(dá)到260片/小時(shí)，其資金投入占整個(gè)工廠建設(shè)投資的約25%。

光刻機(jī)是晶圓制造當(dāng)中最關(guān)鍵的核心裝備，相當(dāng)于晶圓制造的照相機(jī)，通過(guò)曝光的方式將圖像投射到硅片上。光刻作為集成電路制造的關(guān)鍵工藝，利用光化學(xué)反應(yīng)原理把實(shí)現(xiàn)制備在掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印到晶圓表面，后續(xù)經(jīng)過(guò)蝕刻在晶圓上形成圖形。

盡管與國(guó)際大廠相比，我國(guó)在光刻機(jī)研發(fā)方面仍存在不小的差距，但近年來(lái)，隨著首臺(tái)28nm國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)成功交付，中國(guó)在光刻機(jī)技術(shù)上也取得了里程碑式的突破。

值得一提的是，除了自研光刻機(jī)之外，我國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。據(jù)張亮介紹，目前國(guó)產(chǎn)裝備在增芯一期項(xiàng)目里的使用占比超過(guò)了35%，張亮表示，希望在二期投產(chǎn)的時(shí)候能達(dá)到一半以上。

事實(shí)上，近年來(lái)在國(guó)產(chǎn)化浪潮趨勢(shì)下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也在舞臺(tái)上發(fā)光發(fā)熱。與此同時(shí)，隨著行業(yè)逐步回暖和國(guó)產(chǎn)化推進(jìn)，國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商們的營(yíng)收與利潤(rùn)也雙雙保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

其中，中微公司2023年的營(yíng)收和歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)則分別同比增長(zhǎng)32.15%和52.67%，盛美上海營(yíng)收和歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)亦分別同比增長(zhǎng)35.34%和36.21%。華海清科營(yíng)收同比增長(zhǎng)52.1%；實(shí)現(xiàn)扣非歸母凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)62.1%。而北方華創(chuàng)則預(yù)計(jì)其2023年?duì)I收將同比增長(zhǎng)42.77%-57.27%，歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)53.44%-76.39%。

中國(guó)信息協(xié)會(huì)常務(wù)理事朱克力曾表示，隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興技術(shù)不斷快速發(fā)展，半導(dǎo)體設(shè)備需求將持續(xù)增加，疊加國(guó)內(nèi)晶圓廠產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張，2024年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)有望迎更大發(fā)展機(jī)遇。

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