前言:當(dāng)我們談?wù)摰焦璋雽?dǎo)體垂直分工的商業(yè)模式時,無疑是非常成功的,臺積電憑借純晶圓代工業(yè)務(wù)已成為全球第三大半導(dǎo)體廠商。而對于第三代半導(dǎo)體SiC/GaN,目前仍以IDM模式占據(jù)主導(dǎo)地位(特別是SiC),但隨著材料技術(shù)不斷成熟及市場需求打開,垂直分工模式正在逐漸興起。
其中,功率SiC/GaN代工目前仍處于起步階段,但著眼于未來功率半導(dǎo)體龐大市場需求,近來越來越多新玩家加入,包括傳統(tǒng)硅晶圓Foundry臺積電/世界先進(jìn)等。而在射頻GaN代工領(lǐng)域,此前有GaAs模式深厚積累,故整體發(fā)展較快且相對成熟,且越來越多的新興射頻Fabless公司崛起同樣新增了代工需求。
首先來談第三代半導(dǎo)體代工與CMOS代工模式的差異。
CMOS代工:Foundry開發(fā)以線寬為基礎(chǔ)的工藝流程,客戶圍繞該基準(zhǔn)流程設(shè)計芯片。
SiC/GaN代工:Fabless根據(jù)自身器件要求開發(fā)專有工藝,然后轉(zhuǎn)移到代工廠生產(chǎn)。沒有相對標(biāo)準(zhǔn)的工藝流程,考驗的是Foundry的特色開發(fā)能力、技術(shù)經(jīng)驗及客制化服務(wù)等綜合能力。
另外,現(xiàn)階段越來越多的SiC/GaN Foundry陸續(xù)向上延伸,涉足外延片代工。

圖:X-FAB 第三代半導(dǎo)體代工模式
對于Si-IGBT/MOSFET等非常成熟的功率分立器件,其主要貨源仍來自IDM廠。而SiC器件工藝成熟度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及Si基器件,故代工模式發(fā)展阻力更大。
目前全球具備規(guī)?;慨a(chǎn)能力的SiC晶圓代工廠主要有德國X-Fab及中國臺灣漢磊科等。
X-Fab是全球第一家提供6吋SiC工藝的foundry,其位于德克薩斯州的工廠2020年月產(chǎn)能已達(dá)26000片,為20多個客戶同時代工,其中越來越多的份額來自亞洲地區(qū)。另外,X-Fab正在通過提供內(nèi)部外延能力控制工藝鏈的附加部分,交貨時間將大大縮短,這意味著客戶的產(chǎn)品可以更快推向市場。
臺灣漢磊科同樣提供4/6吋SiC代工服務(wù),同時其子公司嘉晶能提供相應(yīng)的SiC Epi wafer,漢磊科的高良率SiC產(chǎn)品已成為日系客戶的主要供應(yīng)商。另外,近期漢磊科計劃在竹科投資50億新臺幣(約11.6億人民幣),全力發(fā)展化合物半導(dǎo)體技術(shù),包括SiC/GaN外延和器件代工。
中國大陸三安集成現(xiàn)階段代工業(yè)務(wù)仍著重在4吋SiC工藝上,6吋產(chǎn)線已通過可靠性認(rèn)證,預(yù)計不久會完成轉(zhuǎn)移。
與硅晶圓類似,目前GaN代工市場同樣以臺廠布局最為積極。
GaN功率方面
目前基本上都是GaN-on-Si產(chǎn)品,傳統(tǒng)硅晶圓Foundry正在向這方面靠攏,包括臺積電、世界先進(jìn)、聯(lián)電子公司聯(lián)穎、富士通等,另外則是特種工藝Foundry,例如TowerJazz、X-Fab、海威華芯、三安集成等。
臺積電在GaN領(lǐng)域早已發(fā)展多年,由最基礎(chǔ)堆疊不同材料的外延技術(shù)開始研究,其他臺廠均是由歐洲技轉(zhuǎn)。據(jù)觀察,臺積電目前主要提供6吋GaN-on-Si代工服務(wù),擁有150V和650V兩種平臺。在去年結(jié)盟意法半導(dǎo)體后,已為其代工相關(guān)車用產(chǎn)品,意欲搶攻目前最熱門的新能源汽車市場商機(jī)。
而在消費(fèi)電子用的電源轉(zhuǎn)換芯片上,外資指出臺積電從2014年開始就幫GaN快充芯片設(shè)計公司Navitas代工。Navitas至今已經(jīng)賣出約1300萬個GaN快充產(chǎn)品,目前每月出貨量達(dá)到100萬,良率極高。而由于Navitas在此領(lǐng)域擁有約一半市占率,也證明臺積電早已悄悄靠GaN在賺錢。
另外,蘋果預(yù)計將在今年推出自身GaN快充產(chǎn)品,網(wǎng)傳Navitas已成為其核心供應(yīng)商,因此臺積電近期加速推進(jìn)GaN設(shè)備采購驗證以應(yīng)對此情況。而若臺積電GaN Epi wafer產(chǎn)能滿載,或?qū)⑼獍o晶電(Epistar)。
世界先進(jìn)因為擁有大量8吋的設(shè)備,也在大力發(fā)展GaN-on-Si制造技術(shù),但其著重點仍在于GaN-on-QST(與設(shè)備材料廠Kyma及投資的GaN硅基板廠Qromis 通力合作)。世界先進(jìn)在最近5月法說上透露,其GaN-on-QST技術(shù)的客戶驗證成果不錯,已有幾個客戶正在進(jìn)行產(chǎn)品設(shè)計,預(yù)期最快Q4可小規(guī)模量產(chǎn),慢則明年Q2。
GaN制程開發(fā)同樣是聯(lián)電研發(fā)計劃中的重點項目之一,主要由其持股81.58%的子公司聯(lián)穎負(fù)責(zé)。聯(lián)穎此前提供6吋砷化鎵晶圓代工,目前攜手聯(lián)電切入GaN,初期將以6吋晶圓代工服務(wù)為主,未來會考慮邁向8吋。
另外,由LED芯片大廠晶電的代工事業(yè)部分割出的晶成半導(dǎo)體以及茂矽等臺廠也均在布局。中國大陸方面,則有三安集成和海威華芯涉足此業(yè)務(wù)。
而特種工藝Foundry X-Fab和TowerJazz也均能提供GaN-on-Si功率代工,例如X-Fab在2017年就曾與Exagan合作。
另外,全球IDM龍頭意法半導(dǎo)體近年來也有意向GaN-on-Si代工業(yè)務(wù)擴(kuò)展。

GaN射頻方面
現(xiàn)階段絕大部分產(chǎn)品在SiC襯底上做,其制程工藝壁壘較高,目前具備相應(yīng)技術(shù)的代工廠主要有Wolfspeed、穩(wěn)懋、宏捷科、GCS、UMS、OMMIC等。Wolfspeed是全球知名的GaN-on-SiC射頻IDM廠,同時也對外提供代工服務(wù);穩(wěn)懋/宏捷科/GCS則是傳統(tǒng)砷化鎵代工三強(qiáng);另外是歐洲UMS和OMMIC(原飛利浦Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體研發(fā)中心,被四川益豐收購);國內(nèi)方面主要是海威華芯。
值得注意的是,知名射頻Fabless公司MACOM一直熱衷于GaN-on-Si方案,自2011年便與GCS(環(huán)宇通訊)合作生產(chǎn)GaN-on-Si射頻器件,近幾年和意法半導(dǎo)體展開合作,此前欲在意大利和新加坡分別建設(shè)射頻PA晶圓廠生產(chǎn)6/8吋產(chǎn)品。另外,歐洲OMMIC同樣具備GaN-on-Si射頻制造能力,但代工情況不詳。
從產(chǎn)業(yè)鏈的角度來看,第三代半導(dǎo)體襯底、外延、器件設(shè)計和晶圓制造各環(huán)節(jié)彼此間存在著密不可分的唇齒關(guān)系,因此要做到完全垂直分工的產(chǎn)業(yè)鏈,是一項非常艱巨的挑戰(zhàn)。但隨著未來下游應(yīng)用需求持續(xù)往大電壓及大電流推進(jìn),Si/SiC/GaN一超兩強(qiáng)三分天下態(tài)勢儼然形成,第三代半導(dǎo)體垂直分工模式必然有其廣闊的市場空間,但從長期來看,IDM模式的主導(dǎo)地位并不會改變。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)