荷蘭ASML公司前不久發(fā)布的財報顯示2019年該公司出貨了26臺EUV光刻機，創(chuàng)造了歷史記錄。ASML沒有公布具體的客戶名單，但是主要買家就是臺積電與三星?，F(xiàn)在韓國媒體爆料稱，三星日前又下了一筆大訂單，斥資33.8億美元采購20臺EUV光刻機，不僅會用于7/5nm等邏輯工藝，還會用在DRAM內(nèi)存芯片生產(chǎn)上。

據(jù)報道，三星在1月15日與ASML公司簽訂了新一輪訂單，將采購20臺EUV光刻機，總計花了33.8億美元，約合234億元人民幣。

這次的EUV光刻機采購規(guī)模比去年10月份的15臺、181億元的規(guī)模更大，顯示出三星在EUV工藝上的雄心，畢竟三星從7nm開始就會直接上馬EUV工藝，目前已經(jīng)量產(chǎn)，高通、NVIDIA、IBM等公司都會是三星7nm EUV工藝的客戶。

在7nm之后，三星還會推出6nm LPP、5nm LPE、4nm LPE等工藝，依然少不了EUV光刻機的參與，其中6nm工藝號稱今年1月份已經(jīng)量產(chǎn)出貨，不過三星沒有提供詳細的客戶信息。

這次采購的20臺EUV光刻機不僅會用于邏輯工藝，還會用在DRAM內(nèi)存芯片上，這有可能帶來內(nèi)存芯片生產(chǎn)的一場變革。

在進入10nm級別之后，DRAM內(nèi)存也衍生出了1X、1Y、1Z至少三代工藝，大概等效于16-19nm、14-16nm、12-14nm，美光還會有更細化的1α、1β等工藝，但是在越過10nm這個坎上，內(nèi)存工藝上EUV光刻機也是遲早的事。

從報道來看，三星最快在今年底就會在內(nèi)存芯片生產(chǎn)上使用EUV光刻機，雖然不知道具體詳情，但是年底的時候三大內(nèi)存芯片廠商應該會開始量產(chǎn)新一代的DDR5內(nèi)存，所以有可能在DDR5內(nèi)存上首嘗EUV的螃蟹味道。