路維光電11月3日在互動平臺稱，目前公司已實(shí)現(xiàn)180nm制程節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)，150nm/130nm已通過客戶驗(yàn)證并小批量量產(chǎn)。公司投資建設(shè)的路芯半導(dǎo)體項(xiàng)目定位130-28nm掩膜版制作，制程節(jié)點(diǎn)布局居于國內(nèi)廠商前列，目前90nm及以上半導(dǎo)體掩膜版已向客戶陸續(xù)送樣并獲部分客戶驗(yàn)證通過，2025年下半年啟動40nm半導(dǎo)體掩膜版試生產(chǎn)工作，目前項(xiàng)目進(jìn)展順利。

資料顯示，路維光電是一家專注于光刻掩膜版領(lǐng)域的企業(yè)，成立于2012年，其擁有平板顯示掩膜版和半導(dǎo)體掩膜版兩大核心產(chǎn)品線，是國內(nèi)唯一具備 G2.5-G11 全世代掩膜版生產(chǎn)能力的廠商。2025 年三季度，路維光電實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 8.27 億元，其中，石英掩膜版營收 4.99 億元，占比 91.80%；蘇打掩膜版 4130.49 萬元，占比 7.59%。