近年來，我國半導(dǎo)體設(shè)備廠商不斷打破技術(shù)枷鎖，加速國產(chǎn)替代。在剛剛結(jié)束的SEMICON China 2025展會上，國內(nèi)設(shè)備廠商創(chuàng)新成果琳瑯滿目，萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通離子注入機(jī)受到廣泛關(guān)注。

離子注入機(jī)作為高端半導(dǎo)體設(shè)備，研發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，由于技術(shù)復(fù)雜度高、驗證周期長的特點，長期以來離子注入機(jī)被國外大廠壟斷，國產(chǎn)化率極低，凱世通作為國內(nèi)少有的離子注入機(jī)廠商，實現(xiàn)了哪些技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化落地？在本次展會上，凱世通“秀”出了自身硬實力。

凱世通SEMICON CHINA 2025展位 | 圖源：凱世通

與此同時，先導(dǎo)科技集團(tuán)董事長、萬業(yè)企業(yè)董事長兼總裁、凱世通董事長朱世會先生受邀出席大會開幕式，并針對先導(dǎo)科技集團(tuán)與萬業(yè)企業(yè)協(xié)同發(fā)展、半導(dǎo)體設(shè)備并購模式以及未來半導(dǎo)體設(shè)備與集成電路產(chǎn)業(yè)展望等問題，與全球半導(dǎo)體觀察編輯展開了深度討論。

圖源：全球半導(dǎo)體觀察

國產(chǎn)離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)跑者，凱世通展示國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備硬實力

本屆SEMICON China 展會現(xiàn)場，凱世通帶來了全系列集成電路離子注入機(jī)產(chǎn)品矩陣。凱世通領(lǐng)跑國產(chǎn)集成電路離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化，通過長期的技術(shù)攻關(guān)與量產(chǎn)應(yīng)用，凱世通離子注入機(jī)在離子源、光路系統(tǒng)、晶圓傳送、顆粒污染物控制、軟件自動化等關(guān)鍵技術(shù)方面進(jìn)行了持續(xù)升級迭代，關(guān)鍵性能指標(biāo)持續(xù)改進(jìn)，獲得了晶圓廠客戶的廣泛認(rèn)可。公司研發(fā)量產(chǎn)的低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)等系列產(chǎn)品，填補了國內(nèi)空白，在設(shè)備裝機(jī)量、性能和穩(wěn)定性等方面處于國產(chǎn)化前列，實現(xiàn)了邏輯、存儲、功率、CIS圖像傳感器等各類芯片工藝的全覆蓋。

圖源：全球半導(dǎo)體觀察

當(dāng)前，半導(dǎo)體市場競爭異常激烈，如何保持市場優(yōu)勢，持續(xù)開拓市場份額成為半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要課題。

經(jīng)過多年的積淀，凱世通形成了從關(guān)鍵技術(shù)到整機(jī)集成與工藝應(yīng)用的完整技術(shù)體系。凱世通的研發(fā)團(tuán)隊擁有30多年的離子注入設(shè)備開發(fā)與應(yīng)用經(jīng)驗，堅持正向設(shè)計，從“第一性原理”出發(fā)，能夠根據(jù)客戶的工藝需求，對設(shè)備進(jìn)行定制化開發(fā)與改進(jìn)，并且不斷迭代助力客戶工藝創(chuàng)新與降本增效。

在售后服務(wù)方面，凱世通相較于其他競爭對手也更具優(yōu)勢。凱世通堅持以客戶為中心，目前已在北京、上海、安徽、山東、湖北、浙江、四川等地建立了客戶服務(wù)中心，為客戶提供就近服務(wù)，保證7*24小時快速響應(yīng)。凱世通組建了專業(yè)強(qiáng)大的售后服務(wù)團(tuán)隊，既積極引進(jìn)具有豐富經(jīng)驗的專業(yè)技術(shù)人才，又不斷加大對現(xiàn)有人才的培訓(xùn)力度，持續(xù)提升客戶服務(wù)水平。

據(jù)了解，自2020年首臺訂單突破以來，凱世通累計收獲12英寸集成電路離子注入機(jī)設(shè)備訂單近60臺，訂單總金額超14億，其中50%以上為重復(fù)訂單，完成產(chǎn)線交付超40臺并實現(xiàn)量產(chǎn)，服務(wù)了十余家重點芯片制造企業(yè)。

針對國產(chǎn)化的空白領(lǐng)域，此前凱世通已經(jīng)實現(xiàn)國產(chǎn)超低溫離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化，打破國外技術(shù)壟斷，近期該公司又順利獲得了新機(jī)型CIS離子注入機(jī)的驗證驗收，實現(xiàn)了國產(chǎn)CIS離子注入機(jī)的重要突破，推動國內(nèi)離子注入機(jī)技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化再上新臺階。

先導(dǎo)科技入主萬業(yè)企業(yè)，雙向賦能推動國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來，萬業(yè)企業(yè)通過“外延并購+產(chǎn)業(yè)整合”的戰(zhàn)略路徑，在半導(dǎo)體設(shè)備和零部件領(lǐng)域進(jìn)行了前瞻性布局。2024年先導(dǎo)科技集團(tuán)斥資近25億元成為萬業(yè)企業(yè)新實控人，業(yè)界好奇先導(dǎo)科技集團(tuán)入局之后，如何實現(xiàn)1+1＞2的協(xié)同發(fā)展。

圖源：萬業(yè)企業(yè)

對此，朱世會先生認(rèn)為，二者合作將雙向賦能共同推動國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展：

一方面，先導(dǎo)科技集團(tuán)定位是材料科技的解決方案提供商，攜手萬業(yè)企業(yè)將推動后者在半導(dǎo)體材料、精密控制、工藝應(yīng)用方面的科技創(chuàng)新，為半導(dǎo)體行業(yè)提供材料、核心零部件、高端裝備、終端應(yīng)用的全方位解決方案。

另一方面，集成電路是先導(dǎo)科技集團(tuán)的未來增長點，先導(dǎo)科技集團(tuán)以材料、器件、光電子全產(chǎn)業(yè)的能力服務(wù)集成電路，給Fab廠、設(shè)備廠提供材料零配件。通過賦能凱世通，反過來凱世通將助力先導(dǎo)科技集團(tuán)增強(qiáng)服務(wù)能力，給Fab廠提供更好服務(wù)，深化客戶關(guān)系，產(chǎn)品線更加豐富?；ハ噘x能之下，更好服務(wù)中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

有意思的是，與橫向并購模式不同，此次先導(dǎo)科技集團(tuán)與萬業(yè)企業(yè)通過垂直一體化，打造了高端材料-器件-模組-系統(tǒng)-裝備的全產(chǎn)業(yè)鏈閉環(huán)。對此朱世會先生指出，當(dāng)技術(shù)不再壟斷的時候，依靠資本的加持，做橫向并購是合適的，而在初期被“卡脖子”的過程中，更需要垂直一體化，以實現(xiàn)技術(shù)突破，培養(yǎng)全產(chǎn)業(yè)鏈能力。當(dāng)前國際形勢變化復(fù)雜，核心技術(shù)是買不來的，必須經(jīng)過垂直一體化突破。未來，隨著技術(shù)不斷突破與完善，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場有望出現(xiàn)越來越多橫向并購模式。

展望未來，國內(nèi)半導(dǎo)體如何破局？

針對當(dāng)前高端半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率低這一現(xiàn)狀，朱世會先生指出，提升國產(chǎn)化率需要做到兩點：

其一，技術(shù)提升，打造多樣化產(chǎn)品，供應(yīng)鏈比如材料、零部件等不受制于國外，擺脫國外依賴，完全自主可控；其二與客戶共同開發(fā)創(chuàng)新應(yīng)用，讓客戶有信心使用國產(chǎn)設(shè)備。國產(chǎn)設(shè)備有漫長的驗證過程，廠商必須與客戶一起合作，投入人員與精力，共同成長。

凱世通金橋基地潔凈室工作現(xiàn)場 | 圖源：凱世通

針對未來國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢，朱世會先生認(rèn)為，并購將依舊是主旋律，但要注意通過并購難以買到技術(shù)型企業(yè)，會面臨技術(shù)難以轉(zhuǎn)讓的問題，其再次重申了企業(yè)自身掌握核心技術(shù)的重要性。

至于先導(dǎo)科技集團(tuán)與萬業(yè)企業(yè)發(fā)展，朱世會先生在展會期間明確提出了未來戰(zhàn)略規(guī)劃。

圖源：凱世通

他表示，萬業(yè)企業(yè)將是目前整個集團(tuán)層面極其重要的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)板塊的承載平臺，我們避開競爭激烈的成熟應(yīng)用市場，聚焦設(shè)備和材料的“卡脖子”難題。憑借集團(tuán)長期積累的技術(shù)優(yōu)勢，抓住國產(chǎn)替代窗口期，通過垂直整合構(gòu)建自主可控的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

另外自今年起，萬業(yè)企業(yè)在已有離子注入機(jī)業(yè)務(wù)基礎(chǔ)上，拓展了材料領(lǐng)域的鉍金屬產(chǎn)品業(yè)務(wù)。稀散金屬在地殼中的含量極低，多伴生于鋁礦、鉛鋅礦、銅礦等主金屬礦床，廣泛應(yīng)用于集成電路、新能源、超清顯示、高端裝備、人工智能等科技領(lǐng)域，具有極強(qiáng)的稀缺性。這一舉措致力于持續(xù)在“硬卡替”方面為國家貢獻(xiàn)力量，進(jìn)一步保障了我國戰(zhàn)略資源供應(yīng)鏈安全。

封面圖片來源：凱世通