3月11日,廣州增芯科技有限公司(以下簡稱“增芯科技”)宣布12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行光刻機搬入活動,標志著增芯項目順利進入調試投產(chǎn)準備階段。
增芯科技介紹稱,增芯項目是省、市重點項目,打造國內第一條12英寸智能傳感器(MEMS)及特色工藝生產(chǎn)線,對增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。
此前消息顯示,增芯項目占地面積達370畝,分兩期建設,一期批復投資70億元,總投資達370億元。根據(jù)規(guī)劃,將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線,預計2024年6月通線。
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