近日，芯碁微裝MAS6直寫光刻設(shè)備成功銷往日本市場(chǎng)。芯碁微裝表示，公司設(shè)備成功開(kāi)拓日本載板市場(chǎng)，體現(xiàn)客戶對(duì)于芯碁微裝產(chǎn)品技術(shù)和質(zhì)量的高度認(rèn)可，同時(shí)為芯碁微裝提供了廣闊的市場(chǎng)拓展空間。

圖片來(lái)源：芯基微裝

芯碁微裝的MAS6直寫光刻機(jī)設(shè)備是專門面向IC載板（FC-BGA基板、FC-CSP基板）領(lǐng)域量產(chǎn)L/S：10/10μm節(jié)點(diǎn)的客戶需求進(jìn)行開(kāi)發(fā)。采用DMD直接成像技術(shù)，配合合理的光路設(shè)計(jì)，使得解析精度可至6/6μm；采用高精度的精密位移平臺(tái)系統(tǒng)，配合高精度的環(huán)境溫度控制，使得對(duì)位精度達(dá)到5μm。

芯碁微裝成立于2015年，專業(yè)從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)，設(shè)備產(chǎn)品銷售客戶超過(guò)300家，公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的發(fā)貨量已累計(jì)超過(guò)700臺(tái)。

封面圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)