據(jù)國家智能傳感器創(chuàng)新中心官微消息，6月30日，由國家智能傳感器創(chuàng)新中心（以下簡稱“創(chuàng)新中心”）建設(shè)的國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線成功通線。

該中試線以國產(chǎn)設(shè)備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進(jìn)傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力，同時為國產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

圖：12寸中試線的工藝設(shè)備，來源：國家智能傳感器創(chuàng)新中心

面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應(yīng)用需求，創(chuàng)新中心將在12英寸中試線持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)，重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝，并推動相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)