8月8日，默克公司宣布與美光科技合作開(kāi)發(fā)用于半導(dǎo)體工藝、能降低全球變暖趨勢(shì)的氣體解決方案。 

據(jù)了解，經(jīng)過(guò)一年的持續(xù)合作，美光科技目前正在測(cè)試默克研發(fā)部門(mén)提供的低GWP替代性蝕刻氣體，以驗(yàn)證其制程性能，從而取代傳統(tǒng)的高GWP材料。目標(biāo)是在半導(dǎo)體制程中導(dǎo)入全新且更具永續(xù)性的氣體解決方案。

美光運(yùn)營(yíng)中心團(tuán)隊(duì)和采購(gòu) CVP John Whitman表示，公司的新目標(biāo)是，在2030年減少42%的全球營(yíng)運(yùn)所造成的碳排放（相較于2020年），為此，公司采取了多項(xiàng)措施以實(shí)現(xiàn)凈零碳排的運(yùn)營(yíng)承諾，包括投資先進(jìn)的減排系統(tǒng)，優(yōu)先使用全球暖化潛勢(shì)較低的氣體，外購(gòu)節(jié)能設(shè)備，以可再生能源取代石化能源等。

默克公司強(qiáng)調(diào)，兩家公司皆致力于發(fā)掘有助實(shí)現(xiàn)永續(xù)發(fā)展目標(biāo)的新材料，以取代現(xiàn)行應(yīng)用于干蝕刻與光罩清洗制程的多種高暖化潛勢(shì)的蝕刻氣體。

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