工商信息顯示，近日，上海威耀實(shí)業(yè)有限公司（下稱：“威耀實(shí)業(yè)”）發(fā)生工商變更，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（下稱：“上海微電子”）退出股東，新增上海芯上微裝科技股份有限公司（下稱：“芯上微裝”）為全資股東，認(rèn)繳出資額2.285億元。

本次收購方芯上微裝成立于2025年2月，是從上海微電子分拆后單獨(dú)成立的公司。其主要股東與上海微電子相似度高，且核心人員及技術(shù)資產(chǎn)來自上海微電子，業(yè)務(wù)定位能夠快速實(shí)現(xiàn)市場化的設(shè)備，而上海微電子則將專注前道核心設(shè)備開發(fā)。

據(jù)了解，芯上微裝產(chǎn)品覆蓋多類封裝和檢測設(shè)備。據(jù)其介紹，2025年8月，該公司已交付500臺步進(jìn)光刻機(jī)。2025灣芯展上，芯上微裝還展示了其進(jìn)封裝光刻機(jī)、激光退火設(shè)備、光學(xué)量測設(shè)備、光學(xué)檢測設(shè)備等產(chǎn)品。

2025年11月，芯上微裝自主研發(fā)的首臺350nm步進(jìn)光刻機(jī)（AST6200）完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收，并發(fā)往客戶現(xiàn)場。據(jù)其介紹，AST6200光刻機(jī)為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進(jìn)制造場景定制。