12月26日，上海諾?？瓢雽?dǎo)體設(shè)備有限公司（簡稱“諾?？?rdquo;）官方微信宣布，公司近日發(fā)布全新產(chǎn)品系列：光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測（Optical Critical Dimension，OCD）設(shè)備NKShape，并成功交付國內(nèi)頭部客戶。

據(jù)介紹，NKShape系列產(chǎn)品專為半導(dǎo)體先進(jìn)工藝開發(fā)，適用于Planar Gate，F(xiàn)inFET，DRAM，3D-NAND等復(fù)雜結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵尺寸量測。應(yīng)用場景包括顯影后（ADI）、刻蝕后（AEI）、化學(xué)機械研磨（CMP）后等工藝站點的二維或三維結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸量測，例如不同位置的線寬、槽深、側(cè)壁傾角、特定材料層高等關(guān)鍵工藝參數(shù)。

諾?？剖紫夹g(shù)官袁瓊雁博士介紹，諾?？仆瞥龅腛CD量測設(shè)備NKShape系列產(chǎn)品，以整機系統(tǒng)集成調(diào)校，最新的算法架構(gòu)以及先進(jìn)制程的豐富經(jīng)驗，為半導(dǎo)體量測市場提供了一款高品質(zhì)的OCD量測設(shè)備。NKShape系列產(chǎn)品以28nm/14nm制程工藝技術(shù)節(jié)點的量測為基礎(chǔ)，同時，可覆蓋至7nm、5nm及更先進(jìn)制程的FinFET邏輯產(chǎn)品以及DRAM、3D-NAND存儲產(chǎn)品的關(guān)鍵尺寸量測。

諾?？瞥闪⒂?022年，專注于前道半導(dǎo)體量測設(shè)備的設(shè)計研發(fā)。公司核心團隊由來自于全球知名的半導(dǎo)體量檢測設(shè)備公司FaST事業(yè)部成建制的資深技術(shù)專家組成，依托服務(wù)于全球多家頭部半導(dǎo)體制造公司的深厚經(jīng)驗，致力于開發(fā)先進(jìn)的OCD設(shè)備。