2025年11月25日，上海芯上微裝科技股份有限公司（AMIES）宣布其自主研發(fā)的首臺(tái)350nm步進(jìn)光刻機(jī)（AST6200 ）正式完成出廠調(diào)試與驗(yàn)收，啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng)。

據(jù)介紹，AST6200光刻機(jī)是芯上微裝基于多年光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、精密運(yùn)動(dòng)控制與半導(dǎo)體工藝?yán)斫夥e淀，傾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步進(jìn)式光刻設(shè)備，專為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進(jìn)制造場(chǎng)景量身定制。

資料顯示，芯上微裝是一家聚焦高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的創(chuàng)新型科技企業(yè)，由上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司拆分設(shè)立，于 2025 年 2 月 8 日正式成立，專注為半導(dǎo)體相關(guān)核心領(lǐng)域提供高精度設(shè)備解決方案。

晶圓級(jí)先進(jìn)封裝光刻機(jī)是其拳頭產(chǎn)品，具備高分辨率、高套刻精度等優(yōu)勢(shì)，能滿足 Flip - chip、2.5D/3D 等先進(jìn)封裝技術(shù)需求，同時(shí)還布局了方板先進(jìn)封裝光刻機(jī)、封裝量檢測(cè)設(shè)備等配套產(chǎn)品。