近日，華海清科官微宣布，華海清科全資子公司芯崳半導(dǎo)體（上海）有限公司自主研發(fā)的12英寸大束流離子注入機(jī)批量交付國(guó)內(nèi)多家集成電路制造頭部企業(yè)。

據(jù)介紹，華海清科離子注入裝備表現(xiàn)卓越，其最新一代大束流離子注入機(jī)在置換率等方面已與國(guó)際領(lǐng)先競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手達(dá)到同一水平，具備高穩(wěn)定性與高工藝匹配度，能夠滿足先進(jìn)制程對(duì)離子注入均勻性、精準(zhǔn)度的嚴(yán)苛要求。目前，該系列裝備已在多家客戶端順利通過(guò)驗(yàn)證，憑借出色的綜合性能贏得了客戶的高度肯定，重復(fù)訂單的獲取正是其產(chǎn)品實(shí)力與市場(chǎng)信心的有力證明。

華海清科形成了覆蓋邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、功率半導(dǎo)體、CIS（圖像傳感器）及硅片制造等多領(lǐng)域工藝需求的全面產(chǎn)品矩陣。此次批量交付國(guó)內(nèi)多家集成電路制造頭部企業(yè)，是華海清科離子注入裝備發(fā)展的重要里程碑。