德州儀器(TI)于2025年9月30日推出其最新工業(yè)數(shù)字微鏡器件DLP991UUV,專為先進(jìn)封裝和無(wú)掩膜光刻(LDI)技術(shù)打造。該設(shè)備具備4096×2176分辨率,約890萬(wàn)個(gè)微鏡排列,微鏡間距僅為5.4微米,微鏡陣列對(duì)角線尺寸為0.99英寸,支持343至410納米的紫外光波段。
DLP991UUV通過調(diào)制入射光的幅度、方向和相位,實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)的圖案化精度,尤其適用于對(duì)高精度要求且需降低成本的先進(jìn)封裝領(lǐng)域。其無(wú)掩膜設(shè)計(jì)可根據(jù)材料表面的實(shí)時(shí)狀態(tài)靈活調(diào)整圖案,顯著提升工藝調(diào)優(yōu)速度并消除掩膜更換帶來的時(shí)間與成本負(fù)擔(dān)。
配合DLPC964控制器,DLP991UUV支持超高速流式數(shù)據(jù)傳輸,滿足3D打印和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域?qū)Υ蟪叽鐦?gòu)件和超精細(xì)分辨率的需求。此外,DLP991UUV還廣泛應(yīng)用于高光譜成像、工業(yè)檢測(cè)和機(jī)器視覺,助力推動(dòng)各行業(yè)的智能制造升級(jí)。