2025年9月23日，深圳穩(wěn)頂聚芯技術(shù)有限公司宣布其自主研發(fā)的首臺(tái)國(guó)產(chǎn)高精度步進(jìn)式光刻機(jī)（WS180i系列）順利出廠，主要應(yīng)用于Mini/Micro LED光電器件、光芯片、功率器件等化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域。

據(jù)悉，此次出廠的步進(jìn)式光刻機(jī)屬于WS180i系列。該系列產(chǎn)品主要面向mini/micro LED光電器件、光芯片、功率器件等化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域，能夠靈活適配硅片、藍(lán)寶石、SiC等不同襯底材料，滿足多樣化的膠厚光刻工藝需求。

公開資料顯示，深圳穩(wěn)頂聚芯技術(shù)有限公司是一家專注于半導(dǎo)體芯片制造裝備研發(fā)的高科技企業(yè)，成立于2023年，公司產(chǎn)品聚焦于半導(dǎo)體工藝制程裝備開發(fā)與制造，還擁有套刻及關(guān)鍵尺寸光學(xué)量測(cè)設(shè)備、超精密光學(xué)成像質(zhì)量評(píng)價(jià)系統(tǒng)等多種相關(guān)設(shè)備。