12月30日，寧波首個高能級微納平臺——甬江實驗室信息材料與微納器件制備平臺（簡稱“微納平臺”）正式投用。

資料顯示，甬江實驗室（新材料浙江省實驗室）由寧波市人民政府、浙江省科技廳共同組建，主要開展材料前沿科學(xué)研究，旨在突破材料關(guān)鍵核心技術(shù)，是浙江省聚焦新材料科創(chuàng)高地建設(shè)作出的重大戰(zhàn)略部署，也是寧波市史上最大的科技投資項目。

甬江實驗室圍繞電子信息材料與器件、新能源材料、功能性結(jié)構(gòu)材料、前沿材料、智能制造與高端裝備等領(lǐng)域建設(shè)若干研究中心；建設(shè)并向全社會開放的材料分析與檢測平臺、信息材料與微納器件制備平臺、材料數(shù)字化研發(fā)平臺、綠色化工新材料中試驗證平臺等創(chuàng)新服務(wù)樞紐。

其中，微納平臺位于甬江實驗室創(chuàng)園，平臺擬對標(biāo)IMEC創(chuàng)新生態(tài)模式，圍繞高速通訊、元宇宙、自動駕駛和智能機(jī)器人等未來產(chǎn)業(yè)所需的核心半導(dǎo)體制造技術(shù)，立足長三角，建設(shè)面向全國的集光電芯片材料生長、器件制造、先進(jìn)封裝與測試、可靠性驗證等為一體的具有先進(jìn)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)驗證能力的樞紐型開放共享平臺。

據(jù)悉，微納平臺建立了完善的標(biāo)準(zhǔn)化工藝庫，可滿足不同芯片的研發(fā)需求，并開放給企業(yè)使用。此外，微納平臺還支撐科研團(tuán)隊獲批兩項2024國家重點研發(fā)計劃，其中包括甬江實驗室牽頭的“大尺寸超高純超厚立方相碳化硅材料制備關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”。同時，已開發(fā)高深寬比的介質(zhì)刻蝕等國際領(lǐng)先工藝。

目前，該平臺現(xiàn)已建成6英寸研發(fā)線和8英寸驗證線各一條，配備了165臺（套）高端精密設(shè)備。此次投用的是微納平臺6英寸研發(fā)線，8英寸驗證線有望在2025年投用。

據(jù)該平臺負(fù)責(zé)人鐘飛介紹，力爭到2031年，建成有影響力的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域全鏈條研發(fā)與驗證平臺。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)