據(jù)幸福肥東消息，6月19日，安徽省合肥市肥東縣政府與上海啟元?dú)怏w正式簽署半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣國產(chǎn)化項(xiàng)目投資合作協(xié)議。

資料顯示，上海啟元?dú)怏w發(fā)展有限公司成立于2009年8月，主要從事電子特氣、電子氣體設(shè)備制造及大宗氣體供氣的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售業(yè)務(wù)。據(jù)悉，上海啟元?dú)怏w于2021年獲得韓國TEMC戰(zhàn)略投資，TEMC是韓國著名的電子材料上市公司，是三星、SK海力士的核心電子特氣供應(yīng)商。

上海啟元?dú)怏w將依托韓系技術(shù)資源及支持，計(jì)劃在位于合肥市肥東縣的合肥循環(huán)經(jīng)濟(jì)示范園內(nèi)建設(shè)國內(nèi)高標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣生產(chǎn)基地。據(jù)介紹，半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣國產(chǎn)化項(xiàng)目占地面積約70畝，建成達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)年?duì)I收不低于10億元，該項(xiàng)目的落地，將加快推動(dòng)國際半導(dǎo)體先進(jìn)制程電子特氣材料國產(chǎn)化進(jìn)程，部分產(chǎn)品將極大增強(qiáng)國內(nèi)半導(dǎo)體先進(jìn)制程所需電子特氣的本土供應(yīng)能力。

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