集成電路檢測(cè)與測(cè)試卡位產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，貫穿半設(shè)計(jì)、制造、封裝以及應(yīng)用的全過程。從整個(gè)制造流程上來看，集成電路檢測(cè)與測(cè)試具體包括設(shè)計(jì)階段的設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓制造階段的過程工藝檢測(cè)、封裝前的晶圓測(cè)試以及封裝后的成品測(cè)試等，在提升芯片良率、降本提質(zhì)、產(chǎn)業(yè)效率提升等方面具有重要作用。

2024年5月23-24日，第26屆集成電路制造年會(huì)暨供應(yīng)鏈創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)(CICD)在廣州黃埔區(qū)知識(shí)城國際會(huì)展中心開幕。其中，在集成電路檢測(cè)與測(cè)試創(chuàng)新論壇中，北京悅芯科技、蘇州美星科技、深圳市辰卓科技、上海菲萊科技、上海精測(cè)半導(dǎo)體、杭州廣立微電子齊聚一堂，共話集成電路檢測(cè)與測(cè)試現(xiàn)狀與未來。

據(jù)中國檢測(cè)測(cè)試與創(chuàng)新聯(lián)盟副秘書長陸堅(jiān)介紹，作為中國創(chuàng)新大聯(lián)盟下的9個(gè)分聯(lián)盟專業(yè)聯(lián)盟之一，集成電路檢測(cè)與創(chuàng)新聯(lián)盟主要專注于檢測(cè)與測(cè)試領(lǐng)域。目前該聯(lián)盟會(huì)員近50家企業(yè)，致力于共同推進(jìn)我國集成電路測(cè)試儀器和裝備的創(chuàng)新的產(chǎn)業(yè)化。就集成電路檢測(cè)領(lǐng)域看，近十年來，我國一批優(yōu)異的檢測(cè)與測(cè)試企業(yè)默默耕耘、潛心修行，在集成電路檢測(cè)與測(cè)試技術(shù)專業(yè)性、測(cè)試設(shè)備的多樣性和先進(jìn)性、測(cè)試服務(wù)的效率和品質(zhì)等方面逐漸涌現(xiàn)成果。

隨后進(jìn)行了測(cè)試和檢測(cè)創(chuàng)新聯(lián)盟的白皮書介紹，目前白皮書主要分為電學(xué)檢測(cè)、外形AOL、缺陷檢測(cè)、物理化學(xué)檢測(cè)四大部分，2023年收錄的廠家涵蓋華峰測(cè)控、廣立微、悅芯科技等28家知名企業(yè)，其中電學(xué)的約有21家，外貌檢測(cè)7家，缺陷檢測(cè)9家，物理化學(xué)檢測(cè)還沒有企業(yè)收錄在內(nèi)。“2024年我們主體上會(huì)增加企業(yè)的服務(wù)的一些能力的介紹，充分發(fā)揮聯(lián)盟的平臺(tái)作用。”袁宇峰表示，未來白皮書編制上會(huì)保持延續(xù)性，重點(diǎn)突出各大企業(yè)的創(chuàng)新能力，關(guān)注產(chǎn)品的開發(fā)連續(xù)性，進(jìn)一步挖掘產(chǎn)品技術(shù)的特點(diǎn)，給行業(yè)提供更多可參考的資料。

北京悅芯科技副總經(jīng)理?xiàng)類勖衤氏染汀秶a(chǎn)存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)備的發(fā)展與挑戰(zhàn)》發(fā)表演講，其向參會(huì)的來賓分享了內(nèi)嵌存儲(chǔ)器測(cè)試、混合信號(hào)測(cè)試、RF SoC測(cè)試、Flash存儲(chǔ)器芯片測(cè)試系統(tǒng)等先進(jìn)的解決方案和創(chuàng)新成果。據(jù)悉，悅芯科技成立于2017年，主要專注研發(fā)、生產(chǎn)各類大規(guī)模集成電路測(cè)試設(shè)備。該公司開發(fā)量產(chǎn)的SOC測(cè)試設(shè)備T800和正在開發(fā)驗(yàn)證的存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)備TM8000填補(bǔ)國產(chǎn)高端集成電路自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域的空白，T800 SOC測(cè)試設(shè)備正不斷系列化并快速地占領(lǐng)國內(nèi)市場。悅芯科技總經(jīng)理?xiàng)類勖裨跁?huì)議現(xiàn)場表示，檢測(cè)與測(cè)試的下半場需要高度關(guān)注PPK（Process Performance K Ratio）、high Speed方案、以及HBM測(cè)試領(lǐng)域。

蘇州美星科技主要為射頻芯片、數(shù)模轉(zhuǎn)換芯片與高速傳輸接口，提供研發(fā)與量產(chǎn)測(cè)試設(shè)備與解決方案。會(huì)議現(xiàn)場，蘇州美星科技董事長肖如吾對(duì)新興需求下射頻測(cè)試技術(shù)與高速數(shù)字信號(hào)測(cè)試技術(shù)的融合趨勢(shì)進(jìn)行了分享。他呼吁業(yè)界通力合作，希望將high Speed測(cè)試盡快實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。據(jù)悉，今年美星科技推出了專為射頻功率器件的量產(chǎn)測(cè)試的KNOX-PA系列射頻功率器件專用測(cè)試機(jī)，支持OS測(cè)試、DC測(cè)試、RF指標(biāo)測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試等全部測(cè)試項(xiàng)。

隨后，深圳市辰卓科技有限公司總經(jīng)理范艷根分享了CIS芯片測(cè)試解決方案的經(jīng)驗(yàn)。CIS芯片設(shè)計(jì)公司技術(shù)門檻較高，市場高度在索尼、三星、斯特威、豪威、格科微等頭部CIS設(shè)計(jì)廠中，并且上述廠商大部分均建有自己的芯片測(cè)試廠。想要在CIS芯片測(cè)試賽道占有一席之地，難度極高。辰卓科技致力于CIS測(cè)試機(jī)、數(shù)字測(cè)試機(jī)、DDIC測(cè)試機(jī)等半導(dǎo)體領(lǐng)域的高端設(shè)備制造。自2013年年起至今，辰卓科技在CIS圖像采集這一領(lǐng)域已經(jīng)積累了4代產(chǎn)品——Dfi1.0、DPHY1.5G、DPHY2.5，隨后是CPHY1.0和DPHY2.5的兼容產(chǎn)品。目前，新品包括DPHY4.5，CPHY6.0，以及APHY、MPHY等產(chǎn)品正在持續(xù)投入資金加強(qiáng)研發(fā)中。辰卓科技總經(jīng)理范艷根表示，希望更多的國內(nèi)CIS芯片測(cè)試企業(yè)走出自己獨(dú)居特色的創(chuàng)新之路，完善本土化的技術(shù)服務(wù)、區(qū)域方案的開發(fā)等。他呼吁行業(yè)分工合作，要加大研發(fā)投入，早日打入索尼、三星等頭部CIS芯片設(shè)計(jì)廠商供應(yīng)鏈名單中。

上海菲萊測(cè)試有限公司主要為半導(dǎo)體行業(yè)提供可靠性測(cè)試解決方案。在車規(guī)芯片測(cè)試上，菲萊測(cè)試后來居上，產(chǎn)品質(zhì)量獲得行業(yè)認(rèn)可。目前菲萊測(cè)試正在研發(fā)SiC芯片的WLB可靠性測(cè)試系統(tǒng)，該產(chǎn)品預(yù)計(jì)將于今年上半年推出。菲萊測(cè)試創(chuàng)始人兼總經(jīng)理張華表示，對(duì)于國內(nèi)的檢測(cè)與測(cè)試行業(yè)而言，現(xiàn)在是一個(gè)非常好的戰(zhàn)略機(jī)遇期，國家層面給予了行業(yè)很大的支持。目前無論是基于主動(dòng)還是被動(dòng)壓力，企業(yè)方都需要去創(chuàng)新和突破。他認(rèn)為，當(dāng)代市場主要面臨著技術(shù)創(chuàng)新力度不夠、人才短缺、行業(yè)生態(tài)完整性不足、市場集中度過高的挑戰(zhàn)。

上海精測(cè)半導(dǎo)體專注于半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)，其研發(fā)總監(jiān)鄭琦對(duì)精測(cè)半導(dǎo)體的產(chǎn)品進(jìn)行了介紹。據(jù)悉，精測(cè)半導(dǎo)體在半導(dǎo)體前道量測(cè)設(shè)備的產(chǎn)品，包括膜厚系列產(chǎn)品、OCD設(shè)備、電子束設(shè)備、半導(dǎo)體硅片應(yīng)力測(cè)量設(shè)備均已取得國內(nèi)多家客戶的批量訂單，此外明場光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備已完成首臺(tái)套交付及驗(yàn)收，且已取得更先進(jìn)制程訂單，有圖形暗場缺陷檢測(cè)設(shè)備等其余儲(chǔ)備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過程中。

提高芯片成品率的關(guān)鍵在于對(duì)制造工藝進(jìn)行完整有效監(jiān)控，反饋至設(shè)計(jì)端和制造端，杭州廣立微電子副總經(jīng)理?xiàng)钌髦跁?huì)場分享了怎么通過集成電路量產(chǎn)實(shí)現(xiàn)良率提升。據(jù)悉，杭州廣立微電子創(chuàng)立于2003年，專注于芯片成品率提升和電性測(cè)試快速監(jiān)控技術(shù)，依托軟件工具授權(quán)、軟件技術(shù)開發(fā)和測(cè)試機(jī)及配件三大主業(yè)，提供晶圓級(jí)EDA軟件、WAT測(cè)試設(shè)備及配件以及與芯片良率提升技術(shù)相結(jié)合的全流程解決方案。

目前，全球各國均已將半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)視為戰(zhàn)略資源，各國政府紛紛推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)振興相關(guān)政策，試圖扶持本土半導(dǎo)體制造業(yè)以及加強(qiáng)與海外半導(dǎo)體企業(yè)合作。從國內(nèi)情況看，隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新和應(yīng)用場景的不斷拓展，國產(chǎn)集成電路檢測(cè)與測(cè)試技術(shù)也在不斷給行業(yè)帶來新的機(jī)遇與活力。本次“集成電路檢測(cè)與測(cè)試創(chuàng)新論壇” 將助力集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展、探索我國企業(yè)在檢測(cè)與測(cè)試領(lǐng)域中的應(yīng)用前景，不斷激發(fā)創(chuàng)新思維，促進(jìn)合作共贏，為集成電路行業(yè)發(fā)展注入新的動(dòng)力。

封面圖片來源：CICD