據(jù)上海地產(chǎn)閔虹集團(tuán)消息，4月25日，拓荊科技（上海）半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目主體鋼結(jié)構(gòu)全面完工，封頂。

消息顯示，半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目是由拓荊科技（上海）有限公司新建的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化基地，計(jì)劃總投資9.3億元。建筑面積約10萬(wàn)㎡，用于開(kāi)發(fā)先進(jìn)的ALD薄膜工藝技術(shù)及高產(chǎn)能設(shè)備平臺(tái)，并實(shí)現(xiàn)以臨港為中心客戶群所需半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。該項(xiàng)目建成后將更好滿足臨港客戶產(chǎn)品定制化等需求，增強(qiáng)公司產(chǎn)品形成以臨港為中心，形成覆蓋上海及周邊半導(dǎo)體客戶廠商的產(chǎn)業(yè)形態(tài)。將以市場(chǎng)需求為導(dǎo)向，開(kāi)展自主研發(fā)，突破核心技術(shù)，形成100%自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)產(chǎn)品并實(shí)施產(chǎn)業(yè)化。

資料顯示，拓荊科技（上海）有限公司成立于2020年12月，是拓荊科技股份有限公司在臨港設(shè)立的全資子公司。主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司聚焦半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，是國(guó)內(nèi)專用量產(chǎn)型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設(shè)備企業(yè)。

封面圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)