近日，中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“中導(dǎo)光電”）納米級圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備（NanoPro-150）再次交付客戶。

此次交付用戶的NanoPro-150產(chǎn)品靈敏度系納米級序列，充分滿足半導(dǎo)體芯片90nm及以上產(chǎn)線制造工藝需求。NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端產(chǎn)品，本次交付的設(shè)備將用于國內(nèi)功率半導(dǎo)體頭部公司的量產(chǎn)線。

資料顯示，中導(dǎo)光電是國內(nèi)半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體前道圖形缺陷檢測設(shè)備的企業(yè)，其亞微米級和微米級設(shè)備累計(jì)銷售逾350臺，長期穩(wěn)定地運(yùn)行在眾多量產(chǎn)線中。目前，該公司進(jìn)入銷售和量產(chǎn)的NanoPro-1XX系列產(chǎn)品和MDI亞微米檢測設(shè)備，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX即將先后進(jìn)入市場，可望覆蓋國內(nèi)半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備需求市場的90%以上。

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