近日，中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院（下文簡稱“深圳先進(jìn)院”）光子信息與能源材料研究中心（下文簡稱“研究中心”）與深圳市納設(shè)智能裝備有限公司（下文簡稱“納設(shè)智能”）成立了先進(jìn)材料聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研深度融合。

資料顯示，上述研究中心成立于2008年，專注于高性能多元化合物半導(dǎo)體材料的前沿技術(shù)研究，在光電傳感半導(dǎo)體材料制造方面取得了一系列成就。

納設(shè)智能則成立于2018年10月，致力于第三代半導(dǎo)體碳化硅外延設(shè)備、石墨烯等先進(jìn)材料制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用推廣。該公司自有第三代半導(dǎo)體碳化硅高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備，是中國首臺(tái)完全自主創(chuàng)新的碳化硅外延設(shè)備。

研究中心專注于先進(jìn)材料的應(yīng)用研究，納設(shè)智能在先進(jìn)材料的設(shè)備制造方面頗有心得，二者一拍即合。

目前雙方除了著重于工藝和設(shè)備的合作外，聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室還將對(duì)其他半導(dǎo)體先進(jìn)材料進(jìn)行研究，如氮化鋁、氮化鎵、石墨烯等先進(jìn)材料生長設(shè)備及工藝。雙方的合作將進(jìn)一步提高研發(fā)效率，縮短研發(fā)周期，推動(dòng)先進(jìn)材料領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)