2022年11月16日,盛美上海宣布濕法設(shè)備3000腔交付,其半導體濕法設(shè)備2000腔于去年10月18日交付。
目前中國大陸能提供半導體清洗設(shè)備的企業(yè),主要包括盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微等。作為新興的半導體設(shè)備企業(yè),盛美上海主要產(chǎn)品為集成電路領(lǐng)域的單片清洗設(shè)備,包括單片SAPS兆聲波清洗設(shè)備、單片TEBO兆聲波清洗設(shè)備、單片背面清洗設(shè)備、單片刷洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備和單片槽式組合清洗設(shè)備等。
盛美上??偨?jīng)理王堅表示,公司成立以來,從聚焦單片兆聲波清洗設(shè)備開始,根據(jù)市場需求不斷擴展產(chǎn)品業(yè)務,到現(xiàn)在形成了集成電路專用清洗系列設(shè)備(包括單片、槽式、單片槽式組合清洗、背面清洗、邊緣刻蝕清洗、刷洗等)、前道銅互連及先進封裝電鍍設(shè)備、先進封裝濕法設(shè)備和立式爐管設(shè)備等產(chǎn)品。其中,清洗設(shè)備以上工藝應用覆蓋率已超過80%,未來有望超過90%,全部產(chǎn)品覆蓋市場空間達到近85億美元。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)