4月1日，東方晶源微電子科技（北京）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“東方晶源”）宣布，東方晶源首臺(tái)8英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備（CD-SEM）已于近日交付燕東微電子。這標(biāo)志著公司自去年6月首臺(tái)12英寸CD-SEM出機(jī)后，在電子束量測(cè)領(lǐng)域再次取得重要進(jìn)展。

據(jù)官方介紹，東方晶源首臺(tái)8英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（型號(hào)：SEpA-c300）基于東方晶源12英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備的技術(shù)積累，面向90nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)的成熟工藝，旨在破解8英寸晶圓代工廠該類設(shè)備短缺、二手設(shè)備性能指標(biāo)及設(shè)備穩(wěn)定性差等問(wèn)題。

公開(kāi)資料顯示，東方晶源是一家國(guó)內(nèi)電子束檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備廠商，專注于集成電路領(lǐng)域良率管理，自主研發(fā)出計(jì)算機(jī)光刻軟件、電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備及關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備三款產(chǎn)品。目前公司已經(jīng)和國(guó)內(nèi)大部分主要晶圓代工企業(yè)建立了合作關(guān)系。

據(jù)了解，東方晶源曾承擔(dān)國(guó)家02重大專項(xiàng)—電子束硅片圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目并驗(yàn)收通過(guò)；首臺(tái)套電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備（EBI）已完成產(chǎn)線驗(yàn)證并獲得重復(fù)訂單。東方晶源在電子束檢測(cè)、量測(cè)領(lǐng)域已填補(bǔ)多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白。