3月3日，江蘇微導納米科技股份有限公司（以下簡稱“微導納米”）科創(chuàng)板上市申請正式獲得上交所受理。

資料顯示，微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發(fā)、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。

ALD設備系集成電路先進制程晶圓制造的關鍵設備，在28nm及以下制程邏輯芯片、17nm及以下DRAM芯片、3D NAND以及新型存儲器、新型應用市場中有著廣泛應用空間。

微導納米ALD設備目前主要應用于光伏領域，與此同時，在半導體等其他領域也加大了新產品的研發(fā)力度，并實現(xiàn)了國產ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝中的突破。

據(jù)悉，在半導體領域，微導納米是國內首家成功將量產型High-k原子層沉積設備應用于28nm節(jié)點集成電路制造前道生產線的國產設備公司，并持續(xù)推進在半導體及其他細分領域的驗證和應用。

財務數(shù)據(jù)顯示，公司2018年、2019年、2020年、2021年前9月營收分別為4191.06萬元、2.16億元、3.13億元、2.31億元；同期對應的凈利潤分別為-2827.47萬元、5455.11萬元、5701.44萬元、2055.48萬元。

微導納米此次擬募集資金10億元，扣除發(fā)行費用后將用于基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目、基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目、集成電路高端裝備產業(yè)化應用中心項目、以及補充流動資金。

本次募投項目達產后，公司將新增年產120臺光伏、柔性電子領域的ALD設備，以及年產40套半導體領域ALD設備的生產規(guī)模。

微導納米表示，通過募投項目的實施，將有助于公司把握下游行業(yè)發(fā)展趨勢，持續(xù)升級現(xiàn)有產品，提高公司薄膜沉積設備的生產能力和市場占有率，促進半導體裝備國產化。

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