中微公司官微消息顯示，6月9日，中微公司在上海總部舉辦電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo nanova®第100臺反應(yīng)腔交付客戶慶祝儀式。

據(jù)介紹，Primo nanova®是中微公司于2018年正式發(fā)布的第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備。該設(shè)備采用了中微公司具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電感耦合等離子體刻蝕技術(shù)，目前該產(chǎn)品已成功進入海內(nèi)外十余家客戶的晶圓生產(chǎn)線，在領(lǐng)先的邏輯芯片、DRAM 和3D NAND廠商的生產(chǎn)線上實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。

中微公司稱，第100腔Primo nanova®刻蝕設(shè)備的順利交付，是公司ICP刻蝕產(chǎn)品業(yè)務(wù)發(fā)展新的里程碑，標志著產(chǎn)品發(fā)展邁入新的階段。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)