據(jù)盛美半導(dǎo)體官微消息，2021年6月7日，上海芯物科技有限公司12吋中試生產(chǎn)線工藝設(shè)備搬入儀式在新傲工廠舉行，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司首臺(tái)清洗設(shè)備入駐芯物科技。

圖片來(lái)源：盛美半導(dǎo)體

企查查資料顯示，芯物科技成立于2017年09月，其股東包括上海新微技術(shù)研發(fā)中心有限公司、上海市嘉定區(qū)集體經(jīng)濟(jì)聯(lián)合社、上海國(guó)際汽車城（集團(tuán)）有限公司、中電?？导瘓F(tuán)有限公司、華立科技股份有限公司以及格科微、晶方科技、士蘭微等。

據(jù)此前媒體報(bào)道，2018年7月，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心啟動(dòng)建設(shè)，由上海新微、中電海康、格科微電子等14家單位共同發(fā)起籌建，芯物科技負(fù)責(zé)經(jīng)營(yíng)落地，通過(guò)關(guān)鍵共性工藝技術(shù)的研發(fā)，建設(shè)研發(fā)平臺(tái)、檢測(cè)技術(shù)平臺(tái)、設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)、工程服務(wù)平臺(tái)等，促進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。

盛美半導(dǎo)體新聞稿中顯示，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心負(fù)責(zé)人在致辭時(shí)介紹，12英寸先進(jìn)傳感器特色工藝研發(fā)中試平臺(tái)超過(guò)80%的設(shè)備均采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，為國(guó)產(chǎn)裝備提供驗(yàn)證平臺(tái)，加速傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化，實(shí)現(xiàn)自主可控。

據(jù)介紹，盛美半導(dǎo)體本次進(jìn)駐芯物科技的設(shè)備為前道刷洗設(shè)備，該設(shè)備采用單片腔體對(duì)晶圓正背面依工序清洗，可進(jìn)行包括晶圓背面刷洗、晶圓邊緣刷洗、正背面二流體清洗等清洗工序。設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，穩(wěn)定性強(qiáng)，多種清洗方式靈活可選，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工藝。

封面圖片來(lái)源：拍信網(wǎng)