近日,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司嘉定中試基地在中科院上海硅酸鹽研究所舉行。

上海申和熱磁電子有限公司消息指出,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司嘉定中試基地11月25開始裝修改造、湖州設(shè)備拆卸運輸及嘉定基地安裝調(diào)試,廠務(wù)支持系統(tǒng)提標升級僅用65天完成。2021年計劃目標:生產(chǎn)4吋2150片;6吋240片,驗證片150片,良率達到行業(yè)內(nèi)中上水平;完成公司級研發(fā)課題6項;申請專利20項。
2020年11月,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司成立暨建設(shè)工程奠基儀式在銅陵經(jīng)開區(qū)舉行。據(jù)悉,安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司SiC項目投資13.5億人民幣,占地100畝,新建廠房建筑使用面積3.2萬平,包括碳化硅晶體生長車間、晶圓加工車間、研發(fā)中心、動力廠房、輔助用廠房等。
該項目以節(jié)能環(huán)保, 4&6吋工藝兼容的自動化產(chǎn)線為實施要點,建設(shè)工期4年,項目從2020年10月起至2024年10月止,計劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試,2021年12月底完成中試并開始試銷,投產(chǎn)后前3年生產(chǎn)負荷分別為33%、67%、100%。達成后預(yù)計年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬片、6英寸12萬片。
封面圖片來源:上海申和熱磁電子有限公司