近日，上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司（以下簡稱“上海新陽”）發(fā)布2020年度向特定對象發(fā)行股票預(yù)案，公告顯示，為支持集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目、建設(shè)集成電路關(guān)鍵工藝材料第二生產(chǎn)基地、同時增強公司資金實力，促進公司的持續(xù)、穩(wěn)定、健康發(fā)展，上海新陽擬向特定對象發(fā)行的發(fā)行對象不超過35名發(fā)行股票，發(fā)行股份數(shù)上限為87,194,674股。

根據(jù)公告，上海新陽上海新陽本次擬發(fā)行股份數(shù)上限為87,194,674股，募集資金總額預(yù)計不超過15億元（含本數(shù)），扣除發(fā)行費用后擬將7.32億元用于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目，3.48億元用于集成電路關(guān)鍵工藝材料項目，4.20億元用于補充公司流動資金

其中，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目將將由上海新陽實施，實施地點為上海新陽現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)。本項目擬以7.32億元投入集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目（以下簡稱“光刻膠項目”），主要開發(fā)集成電路制造中ArF干法工藝使用的光刻膠和面向3D NAND臺階刻蝕的KrF厚膜光刻膠產(chǎn)品，力爭于2023年前實現(xiàn)上述產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化，打破國外壟斷，填補國內(nèi)空白，達到國際先進技術(shù)水平。

若項目按計劃進度進行，預(yù)計KrF厚膜光刻膠2021年開始實現(xiàn)少量銷售，2022年可實現(xiàn)量產(chǎn)，預(yù)計ArF（干式）光刻膠項目在2022年可實現(xiàn)少量銷售，2023年開始量產(chǎn)，預(yù)計當年各項產(chǎn)品銷售收入合計可達近2億元。

上海新陽表示，預(yù)計本項目研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化成功后，公司將掌握包括光刻膠主要原料純化工藝、產(chǎn)品配方、生產(chǎn)工藝和應(yīng)用工藝技術(shù)在內(nèi)的、具有完整知識產(chǎn)權(quán)的ArF干法光刻膠和KrF厚膜光刻膠的規(guī)?；a(chǎn)技術(shù)，可實現(xiàn)兩大類光刻膠產(chǎn)品及配套試劑的量產(chǎn)供貨，并預(yù)計將取得20個以上發(fā)明專利。

而集成電路關(guān)鍵工藝材料項目將由公司全資子公司合肥新陽實施，通過新建廠房、引進國內(nèi)外先進的自動化生產(chǎn)設(shè)備和高端技術(shù)人才，提升公司半導(dǎo)體相關(guān)超純化學材料產(chǎn)品生產(chǎn)制造能力。通過實施本項目，公司將為芯片銅互聯(lián)超高純硫酸銅電鍍液系列、芯片刻蝕超純清洗液系列等產(chǎn)品合計新增年產(chǎn)能17,000噸，公司整體競爭力將進一步增強。

高端光刻膠是集成電路制造最為關(guān)鍵的基礎(chǔ)材料之一，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化是國家掌握產(chǎn)業(yè)自主權(quán)的重大戰(zhàn)略性需求。，但目前高端光刻膠幾乎全部依賴進口。目前，以ArF光刻膠、KrF厚膜光刻膠為代表的高端光刻膠以及工藝的主要技術(shù)和專利目前都掌握在國外的企業(yè)與研究部門，如日本的信越化學(Shin-Etsu Chemical)、合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學，這些企業(yè)幾乎占據(jù)了國內(nèi)外高端光刻膠市場全部份額。

上海新陽表示，集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目成功實施后，對我國半導(dǎo)體材料行業(yè)來說打破了國外壟斷，實現(xiàn)了又一關(guān)鍵材料的自主化，示范作用明顯，將極大地增強行業(yè)自信，充分帶動國內(nèi)半導(dǎo)體材料供應(yīng)商攻克其他技術(shù)難關(guān)的積極性。從行業(yè)上下游來說，實現(xiàn)了我國集成電路產(chǎn)業(yè)掌握核心技術(shù)的重要一環(huán)，減小發(fā)生類似2019年下半年日本限制對韓國出口三項半導(dǎo)體關(guān)鍵材料的“卡脖子”事件的可能，提高了我國整個集成電路產(chǎn)業(yè)的安全性。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)