近日，國務(wù)院國資委發(fā)布消息顯示，目前，中國化工黎明化工研究設(shè)計(jì)院高純四氟化碳和六氟化硫的年產(chǎn)能可達(dá)2000噸，價(jià)格與進(jìn)口同類產(chǎn)品相當(dāng)，但性價(jià)比高，標(biāo)志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。

報(bào)道指出，由中國化工黎明化工研究設(shè)計(jì)院承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”通過國家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組測試與評審，標(biāo)志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。

據(jù)了解，高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體，在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成，確保電路有效發(fā)揮作用。

資料顯示，中國化工黎明化工研究設(shè)計(jì)院由A股上市公司昊華化工科技集團(tuán)股份有限公司100%持股，主營業(yè)務(wù)涉及化學(xué)推進(jìn)劑及原材料、過氧化氫及配套原材料、含氟氣體材料、聚氨酯新材料等四個專業(yè)領(lǐng)域，均在國內(nèi)同行業(yè)處于領(lǐng)先地位。

近年來，黎明院在電子氣體方面的研發(fā)不斷取得突破，其生產(chǎn)的“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”子項(xiàng)目已經(jīng)順利通過了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”的現(xiàn)場測試與評審。該項(xiàng)目的驗(yàn)收完成滿足了極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需的高純度氣體，實(shí)現(xiàn)極大規(guī)模集成電路行業(yè)用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體的國產(chǎn)化。目前相關(guān)產(chǎn)品已提交客戶使用，市場應(yīng)用效果良好。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)