據(jù)外媒報道,三星已取消增加光刻膠供應(yīng)商的計劃。
報道引述消息人士稱,該公司曾與至少四家潛在的日本供應(yīng)商接觸,其中包括世界上最大的光刻膠制造商東京應(yīng)化工業(yè),但這些公司都無法滿足三星的厚度要求。到目前為止,三星電子的3D NAND光刻膠仍由東進半導(dǎo)體獨家供應(yīng)。
據(jù)了解,在2013年量產(chǎn)第一代3D NAND閃存之前,三星電子與東進半導(dǎo)體深度合作,并公開所有工藝步驟來鼓勵開發(fā)。之后東進半導(dǎo)體成功開發(fā)出比現(xiàn)有KrF光刻膠厚30%的材料。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)