先前傳出三星電子打算買斷EUV(極紫外光)設(shè)備拓展晶圓代工市場(chǎng)，不過(guò)韓國(guó)方面的新消息說(shuō)，三星大買EUV，不只用于晶圓代工，也會(huì)用于存儲(chǔ)器，計(jì)劃搶先同業(yè)，2019年初量產(chǎn)10納米DRAM。

韓媒BusinessKorea 29日?qǐng)?bào)導(dǎo)，業(yè)界人士表示，三星考慮在韓國(guó)華城廠增建EUV設(shè)備專用的DRAM產(chǎn)線，最快下個(gè)月動(dòng)工，預(yù)定2019年啟用，將利用初期10納米技術(shù)生產(chǎn)DRAM，開(kāi)業(yè)界先河。

目前業(yè)者多采用ArF浸潤(rùn)式制程生產(chǎn)DRAM，縮小線寬有其極限，DRAM制程很難微縮至10納米。EUV有望解決此一問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)DRAM的10納米制程。熟悉三星電子情況的觀察家說(shuō)，EUV多用于7納米晶圓代工，不過(guò)有些可以拿來(lái)生產(chǎn)DRAM。問(wèn)題是10納米晶圓的生產(chǎn)速度較慢，三星能否獲利仍是未知數(shù)。預(yù)料三星將裝設(shè)4~8臺(tái)EUV設(shè)備。

專家預(yù)測(cè)，盡管EUV有缺點(diǎn)，三星仍會(huì)考慮用EUV生產(chǎn)10納米DRAM，藉此拉開(kāi)和對(duì)手差距，維持市場(chǎng)霸主地位。今年第三季，三星在移動(dòng)設(shè)備和服務(wù)器DRAM的市占，分別增至58.3%、45.9%。

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