2017-08-30
隨著EUV微影技術(shù)即將被引進(jìn)芯片量產(chǎn)制程，美商科磊公司（KLA-Tencor）宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩檢測(cè)產(chǎn)品線。
2017-07-24
ASML目前在EUV光刻機(jī)累積的訂單已經(jīng)達(dá)到27臺(tái)，是目前年產(chǎn)量的兩倍多。
2017-07-20
半導(dǎo)體微影技術(shù)大廠艾司摩爾(ASML)公布2017第二季財(cái)報(bào)。
2017-07-06
6月21日，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)(02專(zhuān)項(xiàng))實(shí)施管理辦公室組織專(zhuān)家在中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所召開(kāi)了“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)。
2017-06-27
半導(dǎo)體公司格羅方德最近公布了有關(guān)其7nm制造工藝的細(xì)節(jié)。
2017-06-19
臺(tái)積電因連續(xù)在14/16nmFinFET、10nm工藝上落后于三星，其急于在7nm工藝上取得領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。
2017-04-21
全球半導(dǎo)體微影技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)廠商艾司摩爾 （ASML） 公布今年第一季財(cái)報(bào)，季營(yíng)收19.4億歐元
2017-04-20
ASML Q1營(yíng)收凈額19.4億歐元 EUV系統(tǒng)未出貨訂單已達(dá)21臺(tái)
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