近日，晶盛機(jī)電自主研發(fā)制造的12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶爐順利交付全球知名硅片制造商——芬蘭Okmetic。

Okmetic作為業(yè)界領(lǐng)先的硅片制造商，專注于為MEMS、傳感器、射頻濾波器和功率器件領(lǐng)域提供高附加值定制化硅片解決方案，客戶覆蓋全球領(lǐng)先半導(dǎo)體企業(yè)。

據(jù)介紹，本次交付的12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶爐是晶盛機(jī)電在晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域的核心技術(shù)成果之一，具備高精度、高穩(wěn)定性、高自動(dòng)化等自研技術(shù)。設(shè)備嚴(yán)格遵循半導(dǎo)體級(jí)工藝標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并提供更靈活、更簡(jiǎn)潔以及更隱私的二次開(kāi)發(fā)平臺(tái)，配合客戶實(shí)現(xiàn)自主和保密的工藝過(guò)程開(kāi)發(fā)及設(shè)定，充分滿足客戶對(duì)高品質(zhì)、低缺陷密度單晶大硅片的嚴(yán)苛生產(chǎn)要求。