上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（簡稱“優(yōu)睿譜”）10月23日在官方微信宣布，公司近日發(fā)布全新產(chǎn)品系列：暗場無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備 LSRVision，并成功交付國內(nèi)頭部客戶。

據(jù)介紹，LSRVision系列產(chǎn)品是專用于晶圓表面缺陷檢測，如Particle，Scratch，Crack, Slipline, Hex Bump, Epi, Shower Head, Crescent, Pit等多種缺陷，最高可檢測60nm尺寸的顆粒；通過適配不同波長的激光器，可廣泛應(yīng)用于碳化硅襯底和外延片表面缺陷檢測，氮化鎵（GaN）&氧化鎵（Ga2O3）襯底和外延片表面缺陷檢測，硅、砷化鎵（GaAs）&磷化銦（InP）襯底和外延片表面缺陷檢測。

與傳統(tǒng)線掃&拍照模式的AOI（Auto Optical Inspection）檢測技術(shù)相比，優(yōu)睿譜LSR系列設(shè)備采用多波長光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計，搭載高速旋轉(zhuǎn)Spindle（每分鐘轉(zhuǎn)速＞5000轉(zhuǎn)），并采用多組光電倍增管匹配濾光片進行信號采集。LSR系統(tǒng)實現(xiàn)最多可同時采集八通道（散射、光致發(fā)光、反射、形貌及相位信息等）信號，保證高靈敏度的同時也保證了缺陷檢測的準(zhǔn)確度，并最大程度上保持較高的產(chǎn)率（WPH）。

優(yōu)睿譜成立于2021年，由長期從事半導(dǎo)體行業(yè)的海歸博士領(lǐng)銜，協(xié)同國內(nèi)資深的半導(dǎo)體前道制程量測設(shè)備技術(shù)團隊共同發(fā)起成立，致力于打造高品質(zhì)的半導(dǎo)體前道量測設(shè)備，提供半導(dǎo)體前道光學(xué)測量、檢測以及電性能測量綜合解決方案。