8 月 1 日，璞璘科技成功交付中國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體級(jí)步進(jìn)納米壓印光刻系統(tǒng) PL-SR 系列。

該設(shè)備攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)難題，可實(shí)現(xiàn)線寬＜10nm 的納米壓印光刻工藝。其高精度噴墨打印式涂膠方案和對(duì)準(zhǔn)功能，可滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)的拼接需求，最小可實(shí)現(xiàn) 20mmx20mm 壓印模板的均勻拼接，最終達(dá)成 300mm 晶圓級(jí)超大面積模板的制作。目前，該設(shè)備已在儲(chǔ)存芯片、硅基微顯、硅光及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域完成研發(fā)驗(yàn)證，展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。

璞璘科技成立于2017年，經(jīng)營(yíng)范圍包括電子專用材料研發(fā)、電子專用設(shè)備制造與銷(xiāo)售、半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造與銷(xiāo)售等，是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。產(chǎn)品及服務(wù)涵蓋半導(dǎo)體制造、消費(fèi)電子、車(chē)載電子、光電顯示、生物醫(yī)學(xué)、新能源制造等眾多領(lǐng)域，可為用戶提供從工藝開(kāi)發(fā)到設(shè)備及耗材量產(chǎn)的納米壓印全閉環(huán)解決方案，產(chǎn)品已遠(yuǎn)銷(xiāo)美國(guó)、加拿大等國(guó)家。