3月4日，半導(dǎo)體設(shè)備大廠盛美上海宣布，其單晶圓中/高溫硫酸過(guò)氧化混合物（SPM）設(shè)備已成功通過(guò)一家邏輯芯片制造商的大批量制造驗(yàn)證。盛美上海指出，截止目前，該設(shè)備已交付了13家客戶。

據(jù)介紹，盛美上海單晶圓中/高溫SPM設(shè)備適用于多種濕蝕刻和單面或雙面清洗工藝，并支持多種化學(xué)品和清洗工藝。主要用于處理150毫米至300毫米晶圓，配備四個(gè)裝載端口、8至12個(gè)腔體、一個(gè)多功能化學(xué)品分配系統(tǒng)以及腔體自清洗功能。

當(dāng)前，隨著AI人工智能、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算等新興產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，加上消費(fèi)類電子、網(wǎng)絡(luò)通訊、物聯(lián)網(wǎng)等行業(yè)需求的穩(wěn)步發(fā)展，全球集成電路產(chǎn)業(yè)面臨著強(qiáng)大的市場(chǎng)需求，同時(shí)也為半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域帶來(lái)了更加廣闊的市場(chǎng)空間。

近日，除了盛美上海相關(guān)設(shè)備通過(guò)驗(yàn)證外，國(guó)內(nèi)兩家半導(dǎo)體設(shè)備廠商中微公司和芯源微投資的半導(dǎo)體項(xiàng)目相繼上馬，此外，寶馨科技擬收購(gòu)光刻設(shè)備廠商江蘇影速集成的消息也引發(fā)行業(yè)關(guān)注。

芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新路項(xiàng)目開工

3月2日，沈陽(yáng)市渾南區(qū)春季重點(diǎn)項(xiàng)目開復(fù)工動(dòng)員大會(huì)舉行，其中包括芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新路項(xiàng)目。

圖片來(lái)源：芯源微

據(jù)悉，該項(xiàng)目總投資10億元，占地面積8.5萬(wàn)平方米，總建筑面積12.5萬(wàn)平方米，由沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司投資建設(shè)，主要研發(fā)生產(chǎn)前后道涂膠顯影設(shè)備，建成后將提升國(guó)產(chǎn)光刻工序涂膠顯影設(shè)備市場(chǎng)占有率，打破國(guó)外產(chǎn)品的市場(chǎng)壟斷及技術(shù)壟斷。

資料顯示，芯源微成立于2002年，主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品主要包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備。目前已形成了前道涂膠顯影設(shè)備、前道清洗設(shè)備、后道先進(jìn)封裝設(shè)備、化合物等小尺寸設(shè)備四大業(yè)務(wù)板塊，產(chǎn)品已完整覆蓋前道晶圓加工、后道先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域。

據(jù)芯源微董事長(zhǎng)、總裁宗潤(rùn)福介紹，芯源新廠區(qū)將面向人工智能、三維封裝，建設(shè)國(guó)內(nèi)一流的先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)中心，保障國(guó)家產(chǎn)業(yè)安全！

“沈陽(yáng)發(fā)布”指出，芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新路項(xiàng)目的開工建設(shè)，是沈陽(yáng)打造全國(guó)集成電路裝備及零部件重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)基地的重要舉措。該項(xiàng)目將進(jìn)一步豐富和拓展沈陽(yáng)先進(jìn)半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)圖譜，助推沈陽(yáng)集成電路裝備搶占半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)制高點(diǎn)。

超微公司體電子束和光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備研發(fā)制造基地項(xiàng)目落地臨港

近日，超微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“超微公司”）與上海臨港新片區(qū)管委會(huì)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，前者將在臨港建設(shè)電子束和光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備研發(fā)制造基地項(xiàng)目。

圖片來(lái)源：上海臨港

據(jù)悉，該項(xiàng)目總投資10億元，主要聚焦集成電路重大設(shè)備技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)品市場(chǎng)化，并探索人工智能在圖像處理、設(shè)備智能化方面的應(yīng)用。

工商信息顯示，超微公司于2024年11月在上海臨港新片區(qū)注冊(cè)成立，注冊(cè)資本4250萬(wàn)元，業(yè)務(wù)版圖涵蓋了半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售、電子專用設(shè)備銷售及專業(yè)設(shè)備修理等。

據(jù)臨港新片區(qū)網(wǎng)站介紹，超微公司主要聚焦電子束關(guān)鍵尺寸量測(cè)（CD-SEM），電子束缺陷檢測(cè)（EBI），電子束缺陷復(fù)檢（DR-SEM）和高端光學(xué)量檢測(cè)等集成電路重大設(shè)備的技術(shù)開發(fā)和產(chǎn)品的市場(chǎng)化，并探索人工智能在圖像處理，設(shè)備智能化方面的廣泛應(yīng)用。

股東信息顯示，超微半導(dǎo)體的法定代表人是半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域知名人物尹志堯，而國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備頭部廠商中微半導(dǎo)體是其控股股東，認(rèn)繳出資額為2550萬(wàn)元，持股比例60%。

圖片來(lái)源：天眼查

眾所周知，中微半導(dǎo)體是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備頭部企業(yè)，主要產(chǎn)品涵蓋刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等，主要涉足半導(dǎo)體集成電路制造、先進(jìn)封裝、LED外延片生產(chǎn)、功率器件、MEMS制造以及其他微觀工藝的高端設(shè)備領(lǐng)域。超微公司的成立，是中微半導(dǎo)體在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的新布局，亦有望成為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新引擎。

寶馨科技籌劃收購(gòu)半導(dǎo)體光刻設(shè)備廠商江蘇影速集成

3月3日，江蘇寶馨科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“寶馨科技”）發(fā)布公告稱，擬收購(gòu)江蘇影速集成電路裝備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“江蘇影速集成”）40%股權(quán)。

根據(jù)公告，寶馨科技將通過(guò)并表子公司浙江影速集成電路設(shè)備制造有限公司（以下簡(jiǎn)稱“浙江影速集成”）以現(xiàn)金方式收購(gòu)江蘇影速集成40%的股權(quán)。至于收購(gòu)金額，寶馨科技指出，經(jīng)協(xié)商確定，江蘇影速集成本次股權(quán)轉(zhuǎn)讓以整體估值8億元為基礎(chǔ)確定交易價(jià)值，40%股權(quán)對(duì)應(yīng)交易價(jià)格為3.2億元。

圖片來(lái)源：寶馨科技公告

值得一提的是，在此之前，寶馨科技變發(fā)布了關(guān)于《對(duì)外投資設(shè)立合資公司的公告》以及《關(guān)于對(duì)外投資設(shè)立合資公司進(jìn)展暨完成工商登記的公告》，而公告中的“合資公司”正是最新成立的浙江影速集成，注冊(cè)資本亦為3.2億元。由此可見(jiàn)，寶馨科技參與成立浙江影速集成正是其籌劃收購(gòu)江蘇影速集成的重要環(huán)節(jié)。本次交易完成后，浙江影速集成將成為江蘇影速集成的控股股東，后者將納入寶馨科技合并報(bào)表范圍。

資料顯示，江蘇影速集成由我國(guó)光刻領(lǐng)域?qū)I(yè)研發(fā)制造團(tuán)隊(duì)、中科院微電所共同發(fā)起設(shè)立，主要從事以激光直寫光刻技術(shù)為核心的高端微電子裝備的研發(fā)、制造及銷售，產(chǎn)品涵蓋PCB用激光直接成像（LDI）設(shè)備、半導(dǎo)體掩模版用激光直寫制版光刻設(shè)備等，其下游代表性客戶包括深南電路、生益電子、明陽(yáng)電路等國(guó)內(nèi)企業(yè)以及志超科技、瀚宇博德等臺(tái)資企業(yè)。

寶馨科技成立于2001年，圍繞“光、儲(chǔ)、充/換”進(jìn)行產(chǎn)業(yè)布局，主營(yíng)業(yè)務(wù)包括新能源業(yè)務(wù)和智能制造業(yè)務(wù)。近年來(lái)，寶馨科技逐漸將業(yè)務(wù)范圍拓展至半導(dǎo)體業(yè)務(wù)。

寶馨科技指出，此次收購(gòu)有助于為公司業(yè)務(wù)發(fā)展拓展新的載體和平臺(tái)，通過(guò)持續(xù)布局發(fā)展、投資、收購(gòu)相關(guān)領(lǐng)域資產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)投資半導(dǎo)體重要企業(yè)，助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展。

總 結(jié)

總體來(lái)看，雖然中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商與國(guó)際半導(dǎo)體巨頭相比仍有一定的差距，但在政府政策推動(dòng)和產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)的共同努力下，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備正在逐漸通過(guò)項(xiàng)目推進(jìn)及企業(yè)并購(gòu)等方式加速布局。