日本兩大紙業(yè)巨頭之一的Oji Holdings正在向成為一家木制材料綜合企業(yè)轉(zhuǎn)型，其最新目標是開發(fā)一種采用木基生物質(zhì)材料的正性光阻劑，目標是到2028年達成商業(yè)化。

根據(jù)日本媒體報導(dǎo)，Oji Holdings在光阻劑生產(chǎn)上的技術(shù)路線，原則是從木材中提取可用于光阻劑的前體材料，然后將前體材料和特定溶劑混合聚合、并采用凈化技術(shù)去除雜質(zhì)之后，這樣就得到了光阻劑的成品。對此，Oji Holdings宣稱其木基光阻劑可滿足2納米先進制程需求，這代表的也是針對日本新創(chuàng)晶圓代工廠商Rapidus的商機而來。

事實上，傳統(tǒng)的正性光阻劑通常需要添加有害的永久化學(xué)品PFAS來提高光敏感度。而Oji Holdings的木基光阻劑在EUV極紫外光下的降解速率，相較傳統(tǒng)產(chǎn)品高出8倍，特性取消了了PFAS的使用需求，而且更為環(huán)保的同時也可提升先進制成圖案化的質(zhì)量。

此外，傳統(tǒng)光阻劑多為石油基塑膠制品，木基光阻劑在生產(chǎn)原料上也可降低了溫室氣體的排放數(shù)量。Oji Holdings表示，其在木基光阻劑上的商業(yè)目標是到2030年之前每年達到100億日元的銷售金額。