近期，媒體報道三星已在其最新3D NAND的光刻工藝中減少了厚光刻膠（以下簡稱“PR”）的使用量，從而大幅節(jié)省了成本。

據(jù)悉，三星優(yōu)化了生產(chǎn)過程中的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)和涂布機轉(zhuǎn)速，在保持最佳蝕刻條件的同時，減少了PR的使用，在保持涂層質(zhì)量的同時大幅節(jié)省了成本。PR應用后的蝕刻工藝已經(jīng)得到改進，盡管材料使用量減少，但仍能獲得同等或更優(yōu)的結(jié)果。

報道指出，三星已將用于3D NAND生產(chǎn)的PR使用量減少了一半。