10月16日，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目通線量產(chǎn)，這是全省首條集成電路刻蝕設(shè)備用硅材料生產(chǎn)線，在填補(bǔ)省內(nèi)技術(shù)空白同時(shí)，還將在完善新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈上邁出關(guān)鍵一步。

刻蝕設(shè)備用硅材料部件主要包括硅環(huán)和硅電極，是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所需的核心耗材，主要用于生產(chǎn)8至12英寸等離子刻蝕機(jī)，在刻蝕機(jī)上起到重要支撐作用。據(jù)悉，該項(xiàng)目總投資3.57億元，主要生產(chǎn)大尺寸單晶硅部件加工品，全部達(dá)產(chǎn)后年新增硅材料204噸。

山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞表示，通線代表從小批量轉(zhuǎn)為大批量生產(chǎn)，目前，第一期每月產(chǎn)能1500片，最大目標(biāo)是每月10000片，根據(jù)市場需求會(huì)隨時(shí)調(diào)整生產(chǎn)規(guī)模。

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