9月27日,思銳智能半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心項目封頂活動在青島自貿(mào)片區(qū)·青島市集成電路產(chǎn)業(yè)園舉行,標(biāo)志著主基地項目取得了階段性建設(shè)成果。
半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心項目,由思銳智能和青島城投集團(tuán)聯(lián)合建設(shè),是2024年度山東省重大項目、青島市重點項目。項目總占地約95畝,總建筑面積約8.6萬平方米,規(guī)劃建設(shè)原子層沉積鍍膜(ALD)和離子注入機(jī)(IMP)等高端裝備整機(jī)制造產(chǎn)線,項目投資超12億元。
本項目于2024年4月底取得施工許可手續(xù),到9月底正式封頂,僅用時5個月。項目建成后,思銳智能將以此為依托,建設(shè)面向全球的研發(fā)和生產(chǎn)制造基地,加快“ALD+IMP”雙核心半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
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