8月16日,上海萬業(yè)企業(yè)股份有限公司(以下簡稱“萬業(yè)企業(yè)”)與國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心(蘇州)在蘇州納米城舉辦的國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心(蘇州)2024年發(fā)展戰(zhàn)略研討會現(xiàn)場舉行了《協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展全面戰(zhàn)略合作協(xié)議》簽署儀式。
根據(jù)戰(zhàn)略合作協(xié)議,雙方瞄準第三代半導體產(chǎn)業(yè)應用需求,攜手共建國家第三代半導體創(chuàng)新中心先進化合物半導體器件制造中心與第三代半導體工藝技術(shù)開發(fā)平臺,圍繞先進半導體設備和工藝關鍵技術(shù),設置研發(fā)課題,聯(lián)合攻堅關鍵工藝節(jié)點核心工藝技術(shù)問題,合力開展關鍵工藝技術(shù)開發(fā),驅(qū)動“產(chǎn)研合璧”,推動第三代半導體芯片制程量產(chǎn)關鍵設備國產(chǎn)化、標準化。
資料顯示 ,國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心(蘇州)由江蘇第三代半導體研究院有限公司作為主體承建單位。而萬業(yè)企業(yè)作為國內(nèi)“1+N”半導體設備平臺公司,業(yè)務覆蓋集成電路離子注入機、刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多類主制程設備以及尾氣處理等支撐制程設備,公司長期支持國產(chǎn)設備的成長與研發(fā)。
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