近日，上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”）宣布成功斬獲三家12英寸晶圓廠客戶離子注入機采購訂單，包括兩家新客戶新訂單與一家重要客戶重復(fù)訂單。目前凱世通的低能大束流離子注入機客戶已超過10家以上，超低溫離子注入機客戶已突破6家。

凱世通表示，此次簽署訂單的2家新客戶均為國內(nèi)工藝先進的12英寸芯片生產(chǎn)企業(yè)，客戶在離子注入機設(shè)備的選擇上，對性能、穩(wěn)定性以及供應(yīng)商的服務(wù)能力均設(shè)立了極高的標(biāo)準(zhǔn)。

凱世通專注國產(chǎn)低能大束流離子注入機產(chǎn)業(yè)化，為下游晶圓廠客戶提供性能卓越、穩(wěn)定可靠的量產(chǎn)型產(chǎn)品，覆蓋邏輯、存儲、功率、CIS四大應(yīng)用領(lǐng)域。公司自主研發(fā)生產(chǎn)的低能大束流離子注入機和超低溫離子注入機，已經(jīng)率先通過了國內(nèi)多家重點12英寸晶圓廠的嚴(yán)苛驗證驗收，并成功實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

自去年開始，凱世通研發(fā)投入多款面向細分領(lǐng)域的離子注入機，形成全系列的產(chǎn)品矩陣布局，包括SOI氫離子注入機、6/8吋SiC高溫離子注入機、中束流離子注入機、超高能離子注入機等特色工藝設(shè)備，持續(xù)提升離子注入機重大裝備自主可控水平，加速離子注入機在新工藝、新材料等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)