近日，在國(guó)際盛會(huì)SEMICON China 2024上，全球高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商德國(guó)PVA TePla集團(tuán)亮相，并向行業(yè)展示了其為中國(guó)市場(chǎng)定制化的碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備——SiCN。

德國(guó)PVA TePla集團(tuán)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國(guó)區(qū)負(fù)責(zé)人謝秀紅表示：“SiCN是我們專為中國(guó)市場(chǎng)打造的，一方面是為中國(guó)市場(chǎng)提供成熟穩(wěn)定的工藝設(shè)備，另一方面也是為了滿足中國(guó)客戶的本地化需求，幫助他們提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。”

中國(guó)市場(chǎng)電動(dòng)汽車、5G、新能源等新業(yè)態(tài)的蓬勃發(fā)展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機(jī)遇，作為在晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域擁有超過60年經(jīng)驗(yàn)的高端設(shè)備廠商， PVA集團(tuán)已經(jīng)過多次關(guān)鍵性產(chǎn)業(yè)收購(gòu)，迅速建立了穩(wěn)固的技術(shù)護(hù)城河。據(jù)悉， PVA集團(tuán)于1999年收購(gòu)了萊寶賀利氏真空設(shè)備制造有限公司，該公司也成為了PVA晶體設(shè)備制造的主要技術(shù)來源；隨后PVA集團(tuán)又收購(gòu)了位于丹麥的區(qū)熔爐設(shè)備制造板塊，在當(dāng)代，該技術(shù)在行業(yè)內(nèi)部具備明顯的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。2002年 PVA集團(tuán)又陸續(xù)收購(gòu)了等離子技術(shù)，進(jìn)一步完善了公司兩大板塊工業(yè)系統(tǒng)和半導(dǎo)體系統(tǒng)設(shè)備。

注：色塊為PVA可提供設(shè)備的板塊

至今，PVA TePla掌握了幾乎所有與工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的晶體生長(zhǎng)技術(shù)，包括區(qū)熔法、直拉法、垂直梯度法，還有化學(xué)氣相沉積法及PVT法。尤其在碳化硅材料的應(yīng)用領(lǐng)域，德國(guó)PVA TePla的先進(jìn)設(shè)備觸及多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用，包括晶體生長(zhǎng)、測(cè)試測(cè)量、石墨提純和相關(guān)耗材輔材的材料涂層設(shè)備等。

此次，PVA TePla將德國(guó)的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和理念與中國(guó)本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢(shì)聯(lián)合，推出的碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備SiCN采用了PVT法（物理氣相傳輸工藝）生產(chǎn)碳化硅晶體，計(jì)劃于2024年第二季度投入市場(chǎng)。值得注意的是，該款設(shè)備雖然是德國(guó)設(shè)計(jì)，但是有很多的零部件均來源于中國(guó)本土供應(yīng)商。

謝秀紅表示，該設(shè)備與德國(guó)生產(chǎn)執(zhí)行的是統(tǒng)一的認(rèn)證和檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，成功入選的供應(yīng)商都經(jīng)過了PVA集團(tuán)嚴(yán)格的供應(yīng)商認(rèn)證過程。目前，該設(shè)備機(jī)械部件的國(guó)產(chǎn)化比例已經(jīng)超過了80%。而在一些關(guān)鍵部件如測(cè)頭、壓力控制方面，PVA TePla還是要采用的最高標(biāo)準(zhǔn)的元部件。同時(shí)，謝秀紅也表示很期待國(guó)產(chǎn)廠商的迅速發(fā)展與成熟，從而實(shí)現(xiàn)更高比例的國(guó)產(chǎn)替代。

目前，國(guó)內(nèi)碳化硅襯底邁過萌芽期，進(jìn)入到規(guī)?；a(chǎn)中。當(dāng)前襯底環(huán)節(jié)面臨全面降本的實(shí)際需求，市場(chǎng)對(duì)于碳化硅襯底設(shè)備的穩(wěn)定工藝要求更高，因?yàn)檫@直接影響著長(zhǎng)晶的良率高低以及自動(dòng)化規(guī)模產(chǎn)出的一致性。針對(duì)上述核心需求，PVA TePla介紹了SiCN的設(shè)備優(yōu)勢(shì)：

定制化：特定的晶體生長(zhǎng)工藝通常是企業(yè)的高度機(jī)密，定制化晶體生長(zhǎng)平臺(tái)對(duì)于驗(yàn)證和優(yōu)化其工藝至關(guān)重要。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案，以滿足行業(yè)獨(dú)特的工藝和知識(shí)產(chǎn)權(quán)需求，從而實(shí)現(xiàn)無縫擴(kuò)展以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。

靈活性：“SiCN”的設(shè)計(jì)可采用和更換成熟供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)組件以及定制組件，保證設(shè)備可以使用最新的研發(fā)成果，實(shí)現(xiàn)持續(xù)的技術(shù)進(jìn)步。

可靠生產(chǎn)：“SiCN”系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊，自動(dòng)化程度高，可最大化節(jié)約整體運(yùn)營(yíng)空間，同時(shí)方便維護(hù)，可實(shí)現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產(chǎn)?？蛻暨€可整合如加料小車、多種真空泵選項(xiàng)和測(cè)量設(shè)備等其他部件，進(jìn)一步提升系統(tǒng)功能。

高生產(chǎn)效能：晶體生長(zhǎng)過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，因此優(yōu)異的能源效率可以實(shí)現(xiàn)更佳的成本效益。“SiCN”采用經(jīng)驗(yàn)證的低能耗感應(yīng)線圈設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高效率的感應(yīng)加熱，有效降低能耗，優(yōu)化生產(chǎn)成本。

目前，為了穩(wěn)步擴(kuò)大中國(guó)市場(chǎng)，PVA TePla已在中國(guó)建立生產(chǎn)基地、演示中心及供應(yīng)鏈中心，旨在將高端設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，以更好地助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。同時(shí)，為了貼合本土市場(chǎng)需求，德國(guó)PVA TePla集團(tuán)也在進(jìn)一步完善本地團(tuán)隊(duì)技術(shù)服務(wù)，加強(qiáng)與下游合作伙伴的研發(fā)合作，并且提供更加專業(yè)化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)能力。