據(jù)遼河發(fā)布消息,3月27日,遼寧希泰科技有限公司“年產(chǎn)50萬支集成電路設備關鍵零部件項目”開工慶典儀式在遼河開發(fā)區(qū)舉行。
“年產(chǎn)50萬支集成電路設備關鍵零部件項目” 總占地面積1.3萬多平方米,總投資約1億元。項目達產(chǎn)后,將實現(xiàn)年產(chǎn)50萬支集成電路設備關鍵零部件,有效提升我國集成電路設備關鍵零部件制造水平。
資料顯示,遼寧希泰科技有限公司(SEALTECH)成立于2003年,是專業(yè)生產(chǎn)焊接波紋管及半導體設備零部件的國家級高新技術企業(yè)。企業(yè)占地面積60000㎡,建筑面積50000㎡,無塵凈化車間6000㎡。主要為國內(nèi)半導體設備——PVD、CVD、PECVD、MOCVD、刻蝕機、離子注入機等提供專用焊接波紋管和高精密零部件,是國內(nèi)半導體設備廠的重要供應商。同時產(chǎn)品廣泛應用于加速器、太陽能光伏、制藥設備、真空設備等一系列高端產(chǎn)業(yè)。
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