3月21日，中微公司宣布，公司電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo nanova®系列第500臺(tái)反應(yīng)腔于近日順利付運(yùn)國(guó)內(nèi)一家先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片制造商。本批次運(yùn)付的ICP刻蝕設(shè)備Primo nanova®系列產(chǎn)品，均來自該客戶的重復(fù)訂單。

 此次付運(yùn)的Primo nanova®是中微公司針對(duì)先進(jìn)的工藝節(jié)點(diǎn)與生產(chǎn)線的各種關(guān)鍵應(yīng)用，基于電感耦合（ICP）技術(shù)研發(fā)的12英寸刻蝕設(shè)備，適用于先進(jìn)的邏輯芯片、DRAM存儲(chǔ)芯片以及3D NAND存儲(chǔ)芯片的刻蝕。

中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。據(jù)悉，中微公司等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位。

此外，數(shù)據(jù)顯示，2023年，中微公司營(yíng)業(yè)收入約62.64億元，較2022年增加約15.24億元，同比增長(zhǎng)約32.15%。其中，2023年刻蝕設(shè)備收入約47.03億元，同比增長(zhǎng)約49.43%。占公司營(yíng)業(yè)收入約 75.1% 的刻蝕設(shè)備在2021年和2022年分別增長(zhǎng)了55.4%和57.1%。中微公司2023年新增訂單總金額約83.6億元，較2022年增加約20.4億元，同比增長(zhǎng)達(dá)32.3%，其中刻蝕設(shè)備新增訂單達(dá)69.5億元，同比增長(zhǎng)約60.1%。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)