12月5日,晶盛機(jī)電披露最新調(diào)研紀(jì)要稱,目前公司6英寸襯底片已通過多家下游企業(yè)驗(yàn)證,并實(shí)現(xiàn)批量銷售,8英寸襯底片處于下游企業(yè)驗(yàn)證階段。
11月4日,晶盛機(jī)電舉行了“年產(chǎn)25萬片6英寸、5萬片8英寸碳化硅襯底片項(xiàng)目”簽約暨啟動(dòng)儀式。該項(xiàng)目總投資21.2億元,建成后公司將利用自身的技術(shù)和資源優(yōu)勢,加快碳化硅襯底片的關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)業(yè)化,加速推進(jìn)第三代半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化進(jìn)程。
自2017年,晶盛機(jī)電開始碳化硅晶體生長設(shè)備和工藝的研發(fā),通過研發(fā)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)攻關(guān),公司于2018年成功研發(fā)出6英寸碳化硅晶體生長爐,于2020年建立長晶和加工研發(fā)實(shí)驗(yàn)線,于2022年成功研發(fā)出8英寸N型碳化硅晶體。2023年11月,公司正式啟動(dòng)進(jìn)入了碳化硅襯底項(xiàng)目的量產(chǎn)階段。
在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中,襯底材料成本占據(jù)整體成本大概40%,成為降本關(guān)鍵環(huán)節(jié),而大尺寸襯底因具有更高的有效利用率,幫助降低成本,近年來備受業(yè)界重視。
除了晶盛機(jī)電透露碳化硅襯底進(jìn)度外,此前在2023年半導(dǎo)體論壇上,天岳先進(jìn)CTO高超博士表示,公司已通過液相法制備出了低缺陷密度的8英寸晶體。
天岳先進(jìn)11月在接受調(diào)研時(shí)表示,目前,行業(yè)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化和批量供應(yīng)上,導(dǎo)電型碳化硅襯底仍以6英寸為主,國內(nèi)外尚未實(shí)現(xiàn)8英寸襯底的大規(guī)模供應(yīng)。公司在8英寸碳化硅襯底上已經(jīng)具備量產(chǎn)能力,也將根據(jù)下游客戶需求情況合理規(guī)劃產(chǎn)品產(chǎn)銷安排。
天岳先進(jìn)曾表示,自2022年以來,公司加快上海臨港新工廠產(chǎn)能建設(shè),逐步加大導(dǎo)電型襯底產(chǎn)能產(chǎn)量,并于2023年5月開啟了產(chǎn)品交付,預(yù)計(jì)產(chǎn)能產(chǎn)量在2023年四季度仍將繼續(xù)提升。目前,第一階段30萬片產(chǎn)能有望提前達(dá)產(chǎn),第二階段96萬片產(chǎn)能規(guī)劃也已啟動(dòng)。
封面圖片來源:拍信網(wǎng)