根據(jù)韓國媒體報(bào)道,盡管全球經(jīng)濟(jì)低迷,但由于IC設(shè)計(jì)公司和晶圓代工廠對光掩膜的需求強(qiáng)勁,使得光掩膜的短缺現(xiàn)象目前仍在持續(xù)。
消息人士稱,光掩膜制造商增加的產(chǎn)能不足,難以滿足需求,2024年商品價(jià)格上漲將不可避免。
資料顯示,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中所需的材料多達(dá)數(shù)百種,按照類別劃分主要包括硅片、光掩膜、光刻膠及配套試劑、電子氣體、工藝化學(xué)品、濺射靶材、拋光材料等,光掩膜雖然在其中占比雖然沒有硅片高,但其重要性同樣不容忽視。
光掩膜的作用主要體現(xiàn)在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的光刻環(huán)節(jié),掩膜上印有集成電路的圖形、工藝等信息,光刻機(jī)將這些圖形曝光在涂有光刻膠的晶圓上,然后經(jīng)過顯影、清洗等步驟,就能把圖形轉(zhuǎn)移到晶圓上。
由于芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜,一層掩膜難以包含全部電路信息,所以往往需要多層掩膜協(xié)助生產(chǎn),隨著芯片制程日益先進(jìn),電路圖案也更加精細(xì),所需的掩膜層數(shù)也就越來越高。例如,成熟制程可能需要30層光掩膜,而在最新的先進(jìn)制程中則可能需要多達(dá)70到80個(gè)光掩膜來處理。
因此,隨著晶圓代工廠商不斷發(fā)力先進(jìn)制程工藝,光掩膜需求將隨之增加。
目前全球光掩膜市場格局以海外廠商占主導(dǎo)地位,同時(shí)國內(nèi)廠商也在積極布局。
海外廠商中,包括凸版印刷(Toppan)、Photronics和DaiNippon Printing的工廠當(dāng)前的產(chǎn)能利用率都維持在100%。凸版印刷公司在其最新單季財(cái)報(bào)(7月至9月)中表示,預(yù)計(jì)2023年對光掩膜的強(qiáng)勁需求將持續(xù),該公司計(jì)劃通過其全球生產(chǎn)設(shè)施擴(kuò)大其光掩膜產(chǎn)能。DaiNippon Printing也在4月至9月期間的半年財(cái)報(bào)中看好未來市況。
國內(nèi)廠商方面,今年11月,冠石科技對外表示,公司投資建設(shè)的光掩膜版項(xiàng)目目前處于建設(shè)階段,首批設(shè)備交付后預(yù)計(jì)2025年公司即可實(shí)現(xiàn)45nm光掩膜版的量產(chǎn),待全部設(shè)備交付后預(yù)計(jì)2028年可實(shí)現(xiàn)28nm光掩膜版的量產(chǎn)。待項(xiàng)目全部建成以后,將具備年產(chǎn)12,450片半導(dǎo)體光掩膜版的生產(chǎn)能力,產(chǎn)品制程覆蓋350-28nm(其中以45-28nm成熟制程為主)。
此前10月,清溢光電對外透露,半導(dǎo)體芯片掩膜版技術(shù)方面,公司已實(shí)現(xiàn)180nm工藝節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體芯片掩膜版的客戶測試認(rèn)證及量產(chǎn),同步開展130nm-65nm半導(dǎo)體芯片掩膜版的工藝研發(fā)和28nm半導(dǎo)體芯片所需的掩膜版工藝開發(fā)規(guī)劃。
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