據經濟導報消息,10月16日,山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業(yè)化項目通線儀式在德州天衢新區(qū)舉行,該項目一期投資25億元,達產后可實現12英寸拋光片月產10萬片,是中國有研布局的重點項目,也是山東省內第一條12英寸集成電路用大硅片生產線。
12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍,可使用率是8英寸的2.5倍左右,單片可產出的芯片數量增加,經濟效益明顯,隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展,硅片趨向大尺寸化和制程精細化,12英寸硅片為當前及未來較長時間內的主流產品。
德州集成電路產業(yè)歷經10年發(fā)展,目前,已初步形成涵蓋半導體材料、芯片設計、封裝測試、終端應用等環(huán)節(jié)的集成電路產業(yè)鏈。電子信息產業(yè)入選山東省戰(zhàn)略性新興產業(yè)集群和特色產業(yè)集群,正爭創(chuàng)國家級戰(zhàn)新產業(yè)集群。近五年來,半導體產業(yè)產值年均增長近20%。德州集成電路產業(yè)已成為山東半導體產業(yè)高質量發(fā)展的重要增長極。
德州天衢新區(qū)是德州發(fā)展半導體產業(yè)的主陣地,目前,德州天衢新區(qū)依托中國有研“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”,打造了占地800余畝,總投資93.4億元的中國集成電路關鍵材料(德州)基地,包括8英寸、12英寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設備用硅材料等七個項目。全部達產后將形成年產6英寸硅片180萬片、8英寸硅片276萬片、12英寸硅片360萬片、12-18英寸硅單晶504噸、高純?yōu)R射靶材4.3萬塊、高純貴金屬213噸,將成為北方最大的集成電路用大硅片生產基地,使山東省躋身硅材料產業(yè)國內第一方陣、靶材產業(yè)遙遙領先。
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